[实用新型]一种集成电路封测凸块供气管路有效
| 申请号： | 201821996488.8 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209199883U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 徐秋宝;戴宝洋 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了空气动力供应设备领域内的一种集成电路封测凸块供气管路，包括2台并联设置的储气罐一，储气罐一的进气口与空压系统相连，储气罐的出气口与过滤系统相连，所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路，过滤管路上依次设置有AO过滤器、冷干机、AA过滤器一、吸干机、AR过滤器和AA过滤器二，AA过滤器二的出气口与用气管网相连；任意一条所述过滤管路上靠近AO过滤器的一端设有压力传感器，所述过滤管路靠近AA过滤器二的一端设有控制器；任意一条所述过滤管路上AA过滤器一的出气口与AR过滤器的进气口之间设有旁通管路一，旁通管路一上设有电动阀门，所述控制器与电动阀门相连接。本实用新型能够保证气源稳定供应。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 储气罐 出气口 过滤管 进气口 本实用新型 并联设置 电动阀门 供气管路 过滤管路 过滤系统 旁通管路 控制器 凸块 集成电路 压力传感器 供应设备 空气动力 空压系统 稳定供应 依次设置 冷干机 气管网 吸干机 气源 保证 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，包括2台并联设置的储气罐一，储气罐一的进气口与空压系统相连，储气罐的出气口与过滤系统相连，所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路，过滤管路上依次设置有AO过滤器、冷干机、AA过滤器一、吸干机、AR过滤器和AA过滤器二，AA过滤器二的出气口与用气管网相连；任意一条所述过滤管路上靠近AO过滤器的一端设有压力传感器，所述过滤管路靠近AA过滤器二的一端设有控制器；任意一条所述过滤管路上AA过滤器一的出气口与AR过滤器的进气口之间设有旁通管路一，旁通管路一上设有电动阀门，所述控制器与电动阀门相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
