[实用新型]一种集成电路封测凸块供气管路

权利要求书

1.一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，包括2台并联设置的储气罐一，储气罐一的进气口与空压系统相连，储气罐的出气口与过滤系统相连，所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路，过滤管路上依次设置有AO过滤器、冷干机、AA过滤器一、吸干机、AR过滤器和AA过滤器二，AA过滤器二的出气口与用气管网相连；任意一条所述过滤管路上靠近AO过滤器的一端设有压力传感器，所述过滤管路靠近AA过滤器二的一端设有控制器；任意一条所述过滤管路上AA过滤器一的出气口与AR过滤器的进气口之间设有旁通管路一，旁通管路一上设有电动阀门，所述控制器与电动阀门相连接。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述空压系统包括3条并联设置的空压管路，空压管路上依次设置有空气过滤器、空压机和常开阀门一。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述储气罐一设置在储气管路上，储气管路位于储气罐一的前端和后端均设有常开阀门二，与2条储气管路相并联设置有常闭阀门管路，常闭阀门管路上设有常闭阀门一，3条空压管路与2条储气管路、常闭阀门管路一一对应相连。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述过滤管路上靠近AO过滤器的进气口处设有常开阀门三，AO过滤器和冷干机之间设有切换阀门，冷干机和AA过滤器一之间设有常开阀门三，AA过滤器一和吸干机之间设有常开阀门三，靠近AA过滤器二的出气口处设有常开阀门三。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述用气管网与AA过滤器二的出气口之间设有2条并联的出气管路，其中一条出气管路上设有储气罐二，出气管路上位于储气罐二的两端均设有常开阀门四， 储气罐二的进气口和出气口之间连接有旁通管路二，旁通管路二上设有常闭阀门二。

6.根据权利要求5所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述用气管网具有2进气口，2个进气口分别与2条出气管路一一对应相连。