[实用新型]炉管晶圆调节装置及炉管有效
| 申请号： | 201821987982.8 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN209029339U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 雷国鸿;周冬成;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种炉管晶圆调节装置，设置于一炉管机台内，用于调节晶舟上晶圆的位置，包括：第一位移组件，包括气动单元和与所述气动单元活动连接的第二位移组件，所述第二位移组件在所述气动单元的作用下到达预定位置；以及所述第二位移组件包括传动单元以及与所述传动单元连接的微调连杆，在所述传动单元的作用下微调连杆靠近晶舟并调节晶圆的位置。所述第一位移组件中的气动单元用于使所述第二位移组件靠近晶圆；所述第二位移组件中的传动单元用于使微调连杆接触晶圆并调节晶圆的位置，从而移回偏移的晶圆，保证晶圆的位置准确，且避免了手动调整导致晶圆遭受颗粒或报废的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 位移组件 传动单元 气动单元 炉管 微调 调节装置 晶舟 本实用新型 活动连接 炉管机台 手动调整 预定位置 偏移 报废 保证 | ||
【主权项】：
1.一种炉管晶圆调节装置，设置于一炉管机台内，用于调节晶舟上晶圆的位置，其特征在于，包括：第一位移组件，包括气动单元和与所述气动单元活动连接的第二位移组件，所述第二位移组件在所述气动单元的作用下到达预定位置；以及所述第二位移组件包括传动单元以及与所述传动单元连接的微调连杆，在所述传动单元的作用下微调连杆靠近晶舟并调节晶圆的位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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