[实用新型]炉管晶圆调节装置及炉管

权利要求书

1.一种炉管晶圆调节装置，设置于一炉管机台内，用于调节晶舟上晶圆的位置，其特征在于，包括：

第一位移组件，包括气动单元和与所述气动单元活动连接的第二位移组件，所述第二位移组件在所述气动单元的作用下到达预定位置；以及

所述第二位移组件包括传动单元以及与所述传动单元连接的微调连杆，在所述传动单元的作用下微调连杆靠近晶舟并调节晶圆的位置。

2.如权利要求1所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，

所述第二位移组件还包括设置于所述炉管内壁的第三旋转轴和与所述第三旋转轴连接的收缩框，所述第三旋转轴用于使所述收缩框在垂直于所述炉管管壁的平面内旋转；所述传动单元设置于所述收缩框内。

3.如权利要求2所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，

所述传动单元包括丝杆螺母和丝杆，所述丝杆螺母的一端固设于所述微调连杆中部，另一端套接于所述丝杆上，其中，所述丝杆螺母和所述丝杆垂直于所述微调连杆。

4.如权利要求3所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，所述传动单元还包括伺服驱动器、伺服电机以及联轴器，所述伺服驱动器控制所述伺服电机，所述丝杆与所述伺服电机连接，所述伺服电机通过所述联轴器控制所述丝杆运动。

5.如权利要求2所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，所述传动单元还包括与所述微调连杆连接的一条或多条滑轨以及与所述滑轨滑动连接且固设于所述收缩框内的滑块。

6.如权利要求5所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，所述多条滑轨互相平行，且均垂直于所述微调连杆。

7.如权利要求1所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，所述气动单元包括一气缸和与所述气缸配合的活塞，所述气缸包括第一端和与所述第一端相对的第二端，所述活塞包括与所述第二端活动连接的第三端和与所述第三端相对的第四端。

8.如权利要求7所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，所述第一位移组件还包括设置于所述炉管内壁的第一旋转轴，所述气缸的第一端与所述第一旋转轴连接，所述第一旋转轴用于使所述气缸在垂直于所述炉管管壁的平面内旋转；所述活塞的第四端与第二旋转轴连接，所述第二旋转轴位于所述收缩框内，所述第二旋转轴用于使所述活塞在垂直于所述收缩框侧壁的平面内旋转。

9.如权利要求8所述的炉管晶圆调节装置，其特征在于，第一位移组件设置于与晶舟底部平行的内壁。

10.一种炉管，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的炉管晶圆调节装置。