[实用新型]一种用于全自动硅片清洗机的上料装置

摘要

本实用新型公开了一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，涉及硅片清洗技术领域，该用于全自动硅片清洗机的上料装置，包括支撑板，支撑板的上表面中部固定安装有驱动电机，驱动电机的两侧均固定连接有第一固定桩，驱动电机远离第一固定桩的一侧中部通过转轴活动连接有丝杠，丝杠的一端外侧螺纹连接有滑动台，丝杠的另一端活动连接有支撑台，第一固定桩的一侧中部固定连接无缝钢管的一端，无缝钢管的另一端固定连接第二固定桩的一侧中部。该用于全自动硅片清洗机的上料装置，通过驱动电机能够带动丝杠旋转，从而使滑动台能够左右移动，通过第一固定桩和第二固定桩以及无缝钢管之间的配合，能够有效增强滑动台作业时的稳定性。

主权项

1.一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的上表面中部固定安装有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的两侧均固定连接有第一固定桩(3)，所述驱动电机(2)远离第一固定桩(3)的一侧中部通过转轴活动连接有丝杠(4)，所述丝杠(4)的一端外侧螺纹连接有滑动台(5)，所述丝杠(4)的另一端活动连接有支撑台(6)，所述第一固定桩(3)的一侧中部固定连接无缝钢管(7)的一端，所述无缝钢管(7)的另一端固定连接第二固定桩(8)的一侧中部；所述滑动台(5)的下表面两侧均固定连接固定柱(10)的一端，所述固定柱(10)的另一端固定连接气缸(11)的上表面，所述气缸(11)的下表面中部固定连接气缸杆(12)的一端，所述气缸杆(12)的另一端固定连接吸头(13)的顶部，所述吸头(13)的底部固定连接有吸盘(14)，所述吸头(13)的一侧中部固定连接伸缩气管(15)的一端，所述伸缩气管(15)的另一端固定连接吸泵(16)的下表面中部，所述吸泵(16)的表面固定连接有固定架(17)；所述吸盘(14)的下方设置有取料盒(18)，所述取料盒(18)的内部设置有硅片垛(19)，所述硅片垛(19)的两侧均贴合连接防护板(20)的一侧，所述防护板(20)的另一侧上下两端均固定连接有伸缩杆(21)，所述防护板(20)的另一侧中部固定连接有弹性柱(22)，所述硅片垛(19)的下表面贴合连接有弹性垫(23)，所述支撑板(1)的下表面一侧下方固定安装有传送板(24)。