[实用新型]一种用于全自动硅片清洗机的上料装置

权利要求书

1.一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的上表面中部固定安装有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的两侧均固定连接有第一固定桩(3)，所述驱动电机(2)远离第一固定桩(3)的一侧中部通过转轴活动连接有丝杠(4)，所述丝杠(4)的一端外侧螺纹连接有滑动台(5)，所述丝杠(4)的另一端活动连接有支撑台(6)，所述第一固定桩(3)的一侧中部固定连接无缝钢管(7)的一端，所述无缝钢管(7)的另一端固定连接第二固定桩(8)的一侧中部；

所述滑动台(5)的下表面两侧均固定连接固定柱(10)的一端，所述固定柱(10)的另一端固定连接气缸(11)的上表面，所述气缸(11)的下表面中部固定连接气缸杆(12)的一端，所述气缸杆(12)的另一端固定连接吸头(13)的顶部，所述吸头(13)的底部固定连接有吸盘(14)，所述吸头(13)的一侧中部固定连接伸缩气管(15)的一端，所述伸缩气管(15)的另一端固定连接吸泵(16)的下表面中部，所述吸泵(16)的表面固定连接有固定架(17)；

所述吸盘(14)的下方设置有取料盒(18)，所述取料盒(18)的内部设置有硅片垛(19)，所述硅片垛(19)的两侧均贴合连接防护板(20)的一侧，所述防护板(20)的另一侧上下两端均固定连接有伸缩杆(21)，所述防护板(20)的另一侧中部固定连接有弹性柱(22)，所述硅片垛(19)的下表面贴合连接有弹性垫(23)，所述支撑板(1)的下表面一侧下方固定安装有传送板(24)。

2.根据权利要求1所述的一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，其特征在于：

所述支撑板(1)的下表面两侧均固定连接有支撑柱；

所述支撑柱的底部固定连接有装置台。

3.根据权利要求1所述的一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，其特征在于：

所述传送板(24)的下表面两侧均固定连接有支撑杆；

所述支撑杆的底部与装置台的上表面一侧固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，其特征在于：

所述无缝钢管(7)的一端外侧与滑动台(5)活动连接；

所述第二固定桩(8)的设置有两个，两个所述第二固定桩(8)相靠近的一面通过支撑台(6)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，其特征在于：

所述支撑板(1)的上表面中部开设有滑动槽(9)；

所述气缸(11)位于滑动槽(9)的内部；

所述气缸(11)与滑动槽(9)的内壁活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，其特征在于：

所述取料盒(18)的一侧通过固定板与支撑柱固定连接；

所述取料盒(18)的下表面与装置台的上表面的另一侧固定连接；

所述伸缩杆(21)和弹性柱(22)远离防护板(20)的一端均与取料盒(18)的内侧壁固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，其特征在于：

所述固定架(17)设置有两个；

两个所述固定架(17)的顶部均与支撑板(1)的下表面固定连接；

所述弹性垫(23)的下表面与取料盒(18)的内底壁固定连接。