[实用新型]一种用于全自动硅片清洗机的上料装置

说明书

本实用新型公开了一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，涉及硅片清洗技术领域，该用于全自动硅片清洗机的上料装置，包括支撑板，支撑板的上表面中部固定安装有驱动电机，驱动电机的两侧均固定连接有第一固定桩，驱动电机远离第一固定桩的一侧中部通过转轴活动连接有丝杠，丝杠的一端外侧螺纹连接有滑动台，丝杠的另一端活动连接有支撑台，第一固定桩的一侧中部固定连接无缝钢管的一端，无缝钢管的另一端固定连接第二固定桩的一侧中部。该用于全自动硅片清洗机的上料装置，通过驱动电机能够带动丝杠旋转，从而使滑动台能够左右移动，通过第一固定桩和第二固定桩以及无缝钢管之间的配合，能够有效增强滑动台作业时的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种用于全自动硅片清洗机的上料装置。

背景技术

目前，在硅片前后清洗设备中，其上料是采取人工手动方式，当手接触硅片时，尽管戴有汗布及乳胶手套，但是一般工人使用的是工业生产的常规手套，不可避免的存在微小孔洞，汗渍将会透过手套污染硅片，此外，由于手套接触硅片，硅片上的粉尘以及空气中的灰尘将会残留在手套表面，也会污染硅片，通常解决办法是更换手套，但是，一般发现手套脏时才会更换手套，但此时手套已经污染了部分硅片，另外，上料采用人工操作方式，首先，由于人工操作的作用力、作用时间以及动作的准确性均难以精确控制，易导致碎片，再者，人工操作所需劳动力也较大，每台设备一般需要两人甚至多人上料，浪费了人力，增加了生产成本。

目前，现有的清洗机用于清洗硅片，对人力的需求量大，并且容易导致硅片碎裂，提高生产成本，使用不便，不利于推广使用。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，解决了现有的清洗机用于清洗硅片，对人力的需求量大，并且容易导致硅片碎裂，提高生产成本，使用不便，不利于推广使用的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，包括支撑板，所述支撑板的上表面中部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的两侧均固定连接有第一固定桩，所述驱动电机远离第一固定桩的一侧中部通过转轴活动连接有丝杠，所述丝杠的一端外侧螺纹连接有滑动台，所述丝杠的另一端活动连接有支撑台，所述第一固定桩的一侧中部固定连接无缝钢管的一端，所述无缝钢管的另一端固定连接第二固定桩的一侧中部；

所述滑动台的下表面两侧均固定连接固定柱的一端，所述固定柱的另一端固定连接气缸的上表面，所述气缸的下表面中部固定连接气缸杆的一端，所述气缸杆的另一端固定连接吸头的顶部，所述吸头的底部固定连接有吸盘，所述吸头的一侧中部固定连接伸缩气管的一端，所述伸缩气管的另一端固定连接吸泵的下表面中部，所述吸泵的表面固定连接有固定架；

所述吸盘的下方设置有取料盒，所述取料盒的内部设置有硅片垛，所述硅片垛的两侧均贴合连接防护板的一侧，所述防护板的另一侧上下两端均固定连接有伸缩杆，所述防护板的另一侧中部固定连接有弹性柱，所述硅片垛的下表面贴合连接有弹性垫，所述支撑板的下表面一侧下方固定安装有传送板。

可选的，所述支撑板的下表面两侧均固定连接有支撑柱；

所述支撑柱的底部固定连接有装置台。

可选的，所述传送板的下表面两侧均固定连接有支撑杆；

所述支撑杆的底部与装置台的上表面一侧固定连接。

可选的，所述无缝钢管的一端外侧与滑动台活动连接；

所述第二固定桩的设置有两个，两个所述第二固定桩相靠近的一面通过支撑台固定连接。

可选的，所述支撑板的上表面中部开设有滑动槽；