[实用新型]一种超精密高效硅片双面研磨加工设备

摘要

本实用新型公开了一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，所述集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，所述机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫。本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，适合被广泛推广和使用。

主权项

1.一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳（1）和研磨盘（8），所述研磨盘（8）固定连接在机壳（1）表面，其特征在于：所述研磨盘（8）一侧设有电动液压杆（11）和吸尘罩（9），所述机壳（1）内侧壁通过滑轨（4）滑扣连接集尘箱（5），且集尘箱（5）侧壁焊接拉手（15），所述集尘箱（5）内部分别设有抽风机（10）、活性炭过滤网（19）和水液（17），所述机壳（1）内部底端分别设有细沙层（2）和陶瓷硅胶板（3），所述机壳（1）内侧壁转动连接散热扇（14），且机壳（1）表面粘接有凸点胶垫（7）。