[实用新型]一种超精密高效硅片双面研磨加工设备

说明书

本实用新型公开了一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，所述集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，所述机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫。本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，适合被广泛推广和使用。

技术领域

本实用新型涉及一种研磨加工设备，特别涉及一种超精密高效硅片双面研磨加工设备。

背景技术

地壳中含量达25.8%的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。硅片的结构组成是硅元素。

现有的超精密高效硅片双面研磨加工设备在工作的过程中，产生大量的研磨粉尘，严重污染环境，工作完成之后，研磨盘表面残留的大量粉尘不便于清洁，费时费力。为此，我们提出一种超精密高效硅片双面研磨加工设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳和研磨盘，所述研磨盘固定连接在机壳表面，所述研磨盘一侧设有电动液压杆和吸尘罩，所述机壳内侧壁通过滑轨滑扣连接集尘箱，且集尘箱侧壁焊接拉手，所述集尘箱内部分别设有抽风机、活性炭过滤网和水液，所述机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，所述机壳内侧壁转动连接散热扇，且机壳表面粘接有凸点胶垫。

进一步地，所述电动液压杆两端分别与机壳和吸尘罩固定连接。

进一步地，所述吸尘罩通过吸尘管与抽风机的吸入端导通连接，所述机壳表面开设有穿管孔。

进一步地，所述抽风机的输出端导通连接导气管，所述导气管底端贯穿活性炭过滤网且贯穿端插接在水液内部。

进一步地，所述集尘箱顶端导通连接排气管，且集尘箱外侧壁靠近底端开设有排污口。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作且使用效果好，通过设有吸尘罩和集尘箱，便于在生产过程中定向吸除研磨粉尘，更加环保，通过电动液压杆推动吸尘罩，自动清洁研磨盘表面残留的粉尘，省时省力。

2.本实用新型通过设有吸尘罩和集尘箱，集尘箱内部设有抽风机，便于在研磨的过程中定向吸除研磨粉尘，减少粉尘的飘飞，提高工作环境的舒适度，更加环保。

3.本实用新型通过设有电动液压杆，便于在工作完成之后，横向推动吸尘罩对研磨盘表面残留的粉尘定向吸收，方便自动清洁，节省人力。

4.本实用新型通过集尘箱内部分别设有水液和活性炭过滤网，便于对吸除的粉尘溶解，避免粉尘对环境二次污染，活性炭过滤网对气体过滤，更加环保。

5.本实用新型通过机壳内部底端分别设有细沙层和陶瓷硅胶板，具有优良的绝缘性能，防止电器元件漏电传递至机壳表面，提高使用的安全性。

附图说明

图1为本实用新型一种超精密高效硅片双面研磨加工设备的整体结构示意图。