[实用新型]一种超精密高效硅片双面研磨加工设备有效
| 申请号： | 201821942191.3 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209304294U | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 裴忠;苏静洪;吴张琪;张王锋;朱勤超 | 申请（专利权）人： | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B55/06;B24B37/08;B24B41/02 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 李伊飏 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨盘 集尘箱 吸尘罩 研磨加工设备 本实用新型 电动液压杆 硅片双面 机壳表面 超精密 内侧壁 粉尘 活性炭过滤网 表面残留 侧壁焊接 机壳内部 生产过程 转动连接 自动清洁 研磨 抽风机 硅胶板 滑轨滑 扣连接 散热扇 细沙层 底端 集尘 胶垫 省力 省时 水液 凸点 吸除 粘接 拉手 陶瓷 环保 | ||
1.一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，包括机壳（1）和研磨盘（8），所述研磨盘（8）固定连接在机壳（1）表面，其特征在于：所述研磨盘（8）一侧设有电动液压杆（11）和吸尘罩（9），所述机壳（1）内侧壁通过滑轨（4）滑扣连接集尘箱（5），且集尘箱（5）侧壁焊接拉手（15），所述集尘箱（5）内部分别设有抽风机（10）、活性炭过滤网（19）和水液（17），所述机壳（1）内部底端分别设有细沙层（2）和陶瓷硅胶板（3），所述机壳（1）内侧壁转动连接散热扇（14），且机壳（1）表面粘接有凸点胶垫（7）。
2.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述电动液压杆（11）两端分别与机壳（1）和吸尘罩（9）固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述吸尘罩（9）通过吸尘管（13）与抽风机（10）的吸入端导通连接，所述机壳（1）表面开设有穿管孔（12）。
4.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述抽风机（10）的输出端导通连接导气管（18），所述导气管（18）底端贯穿活性炭过滤网（19）且贯穿端插接在水液（17）内部。
5.根据权利要求1所述的一种超精密高效硅片双面研磨加工设备，其特征在于：所述集尘箱（5）顶端导通连接排气管（6），且集尘箱（5）外侧壁靠近底端开设有排污口（16）。
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