[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201821940309.9 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209201347U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 徐达 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 袁文婷;王迎 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、固定在基底上的振膜和背极结构；其中，在背腔内设置一层的防水膜，防水膜用于阻止水和异物落到振膜和背极结构上。利用本实用新型，能够解决异物或者水进入MEMES芯片的基底背腔的位置并落到振膜上从而影响MEMS麦克风的性能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 振膜 本实用新型 防水膜 异物 背极 背腔 基底 基底背 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、固定在所述基底上的振膜和背极结构；其特征在于，在所述背腔内设置有防水膜，所述防水膜用于阻止水和异物落到所述振膜和背极结构上。
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