[实用新型]MEMS麦克风有效
申请号: | 201821940309.9 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN209201347U | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 徐达 | 申请(专利权)人: | 歌尔科技有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 袁文婷;王迎 |
地址: | 266100 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振膜 本实用新型 防水膜 异物 背极 背腔 基底 基底背 芯片 | ||
1.一种MEMS麦克风,包括具有背腔的基底、固定在所述基底上的振膜和背极结构;其特征在于,
在所述背腔内设置有防水膜,所述防水膜用于阻止水和异物落到所述振膜和背极结构上。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述防水膜与所述振膜之间的距离不大于100μm。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述防水膜为透气透声防水膜。
4.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述防水膜与所述振膜平行设置。
5.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述背极结构为单背极板结构或者双背极板结构,其中,
当所述背极结构为双背极板结构时,所述振膜与背极板间隔设置。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
在所述背极结构上设置有多个通孔。
7.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述基底为氮化硅基底、单晶硅基底或者多晶硅基底。
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