[实用新型]一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置

摘要

本实用新型提供一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，包括防撞单元和旋转升降机构，旋转升降机构包括放置台架、旋转气管、固定气管、升降单元、动力单元和真空泵。旋转升降机构的升降单元上升，使得吸盘通过真空泵抽真空吸附固定晶圆，在回降时，通过防撞单元的检测，使得放置台架停止的位置不会与其它的设备或机架碰撞，使得晶圆不会与放置台架之外的设备相互触碰，达到避免晶圆与放置台架相互碰撞损坏的目的。而在清洗时，通过放置台架侧面的环形喷气口对放置于放置台架顶面的晶圆进行吹气，将渗流至晶圆背面的清洗液吹除，避免渗流至晶圆背面的清洗液对晶圆造成污染。因此解决了清洗对晶圆污染，以及晶圆在升降时破损的问题。

主权项

1.一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：包括防撞单元和旋转升降机构；所述旋转升降机构包括放置台架、旋转气管、固定气管、升降单元、动力单元和真空泵，所述旋转气管的一端可转动的套设置在固定气管内，旋转气管的另一端贯穿放置台架设置在放置台的顶面的中部，且旋转气管的另一端的气口上设置有吸盘，固定气管设置在升降单元上，真空泵与固定气管连接设置，动力单元设置在升降单元上，动力单元用于驱动旋转气管转动，升降单元用于驱动放置台架进行升降；所述放置台架的顶部外侧设置有环形喷气口，环形喷气口与旋转气管的第二出气口管连接设置，防撞单元设置在放置台架的侧面上，且防撞单元位于环形喷气口的一侧，防撞单元用于检测放置台架升降的距离。