[实用新型]一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置

权利要求书

1.一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：包括防撞单元和旋转升降机构；

所述旋转升降机构包括放置台架、旋转气管、固定气管、升降单元、动力单元和真空泵，所述旋转气管的一端可转动的套设置在固定气管内，旋转气管的另一端贯穿放置台架设置在放置台的顶面的中部，且旋转气管的另一端的气口上设置有吸盘，固定气管设置在升降单元上，真空泵与固定气管连接设置，动力单元设置在升降单元上，动力单元用于驱动旋转气管转动，升降单元用于驱动放置台架进行升降；

所述放置台架的顶部外侧设置有环形喷气口，环形喷气口与旋转气管的第二出气口管连接设置，防撞单元设置在放置台架的侧面上，且防撞单元位于环形喷气口的一侧，防撞单元用于检测放置台架升降的距离。

2.根据权利要求1所述的一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：所述旋转升降机构还包括第一油封和第二油封；

所述旋转气管与固定气管之间设置有轴承，第一油封设置在固定气管出口与轴承之间，第二油封设置在旋转气管的管身上，且第二油封位于放置台架容置于旋转气管的通孔内，且第一油封与旋转气管连接处设置有吹气口，环形喷气口与吹气口管连接设置。

3.根据权利要求1所述的一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：所述环形喷气口朝向放置台架的顶面方向的倾角为30°～45°。

4.根据权利要求1所述的一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：所述升降单元包括底座、升降台和升降气缸，所述升降气缸设置在底座上，升降台设置在升降气缸的输出轴上，固定气管设置在升降台的顶面中部上，动力单元设置在升降台的顶面上，且动力单元位于固定气管的一侧。

5.根据权利要求4所述的一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：所述动力单元包括电动机和齿轮，电动机设置在升降台上，旋转气管的外侧面设置有外齿，齿轮套设在电动机的输出轴上，齿轮与外齿相互啮合设置。

6.根据权利要求1所述的一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：所述防撞单元包括检测器、比较器和报警器，检测器设置在放置台架的侧面上，比较器和报警器设置在放置台架内，检测器与比较器的输入端电连接，报警器与比较器的输出端电连接。

7.根据权利要求1所述的一种防止加工造成二次污染的喷气防撞装置，其特征在于：还包括清洗机构，所述清洗机构包括舵机、转动架、喷淋管和清洗管，转动架设置在舵机的输出轴上，喷淋管与清洗罐并排设置在转动架上，舵机用于带动喷淋管和清洗管转动至放置台架的上方，喷淋管和清洗管用于对安装于放置台架顶面上的晶圆进行清洗。