[实用新型]一种带有集成风冷系统的扩散炉有效
| 申请号: | 201821875453.9 | 申请日: | 2018-11-14 |
| 公开(公告)号: | CN209131420U | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
| 发明(设计)人: | 刘效斐 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | F27D15/02 | 分类号: | F27D15/02;F27D15/00 |
| 代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
| 地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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| 摘要: | 一种带有集成风冷系统的扩散炉,包括箱体,箱体内部设有加热炉,加热炉置于箱体一端。加热炉连接风冷腔。箱体内设有导轨,导轨一端置于加热炉内,导轨另一端置于风冷腔内。导轨上设有滑动块,滑动块上设有接舟装置。风冷腔内设有风机和气冷管,风机连接驱动机构,气冷管连接气源,驱动机构和气源置于箱体内。本实用新型的有益效果是:结构简单、操作方便,通过在扩散炉体内设置风冷区,使其与扩散炉合理的结合为一个整体,集成度高,占地面积小,缩短了风冷区与加热炉的距离。通过导轨联通加热炉与风冷系统,接舟装置通过导轨移动,缩短了出炉样片移动到风冷区的距离,加快了样片温度的降低速度。 | ||
| 搜索关键词: | 加热炉 导轨 扩散炉 风冷系统 风冷腔 风冷区 驱动机构 滑动块 气冷管 本实用新型 导轨移动 风机连接 箱体内部 集成度 风机 联通 气源 出炉 体内 移动 | ||
【主权项】:
1.一种带有集成风冷系统的扩散炉,包括箱体,其特征在于:所述箱体为长方体,所述箱体内部设有加热炉,所述加热炉置于所述箱体一端,所述加热炉连接风冷系统,所述风冷系统包括风冷腔,所述风冷腔与所述加热炉联通,所述箱体内设有导轨,所述导轨一端置于所述加热炉内,所述导轨另一端置于所述风冷腔内,所述导轨上设有滑动块,所述滑动块上设有接舟装置,所述接舟装置与所述导轨配合滑动,所述风冷腔内设有风机和气冷管,所述风机为多个,所述风机依次置于所述风冷腔内,所述风机连接驱动机构,所述气冷管置于所述风冷腔内,所述气冷管为多个,所述气冷管与所述导轨平行分布,所述气冷管上设有透孔,所述气冷管连接气源,所述驱动机构和所述气源置于所述箱体内。
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