[实用新型]一种带有集成风冷系统的扩散炉有效

专利信息
申请号: 201821875453.9 申请日: 2018-11-14
公开(公告)号: CN209131420U 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 刘效斐 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
主分类号: F27D15/02 分类号: F27D15/02;F27D15/00
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 加热炉 导轨 扩散炉 风冷系统 风冷腔 风冷区 驱动机构 滑动块 气冷管 本实用新型 导轨移动 风机连接 箱体内部 集成度 风机 联通 气源 出炉 体内 移动
【权利要求书】:

1.一种带有集成风冷系统的扩散炉,包括箱体,其特征在于:所述箱体为长方体,所述箱体内部设有加热炉,所述加热炉置于所述箱体一端,所述加热炉连接风冷系统,所述风冷系统包括风冷腔,所述风冷腔与所述加热炉联通,所述箱体内设有导轨,所述导轨一端置于所述加热炉内,所述导轨另一端置于所述风冷腔内,所述导轨上设有滑动块,所述滑动块上设有接舟装置,所述接舟装置与所述导轨配合滑动,所述风冷腔内设有风机和气冷管,所述风机为多个,所述风机依次置于所述风冷腔内,所述风机连接驱动机构,所述气冷管置于所述风冷腔内,所述气冷管为多个,所述气冷管与所述导轨平行分布,所述气冷管上设有透孔,所述气冷管连接气源,所述驱动机构和所述气源置于所述箱体内。

2.根据权利要求1所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述加热炉水平置于所述箱体内,所述加热炉为多个,所述加热炉由上到下依次平行分布。

3.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述风冷腔为多个,所述风冷腔水平置于所述箱体内,所述风冷腔由上到下依次平行分布。

4.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述加热炉内部设有加热管,所述加热管外表面设有加热丝,所述加热丝外表面设有保温棉,所述保温棉外表面设有金属防护壳。

5.根据权利要求4所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述加热丝呈螺旋状缠绕在所述加热管外表面。

6.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述接舟装置呈长方形盒状,所述接舟装置底部设有接舟支架,所述接舟支架底面连接滑动块上表面,所述接舟装置侧面设有推手。

7.根据权利要求6所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述接舟装置包括托舟底板和托舟侧板,所述托舟底板为长方形板,所述托舟侧板包括长度侧板和宽度侧板,所述长度侧板置于所述托舟底板长度方向的两侧,所述托舟底板与所述长度侧板程钝角设置,所述宽度侧板置于所述托舟底板宽度方向的两侧,所述宽度侧板为梯形板。

8.根据权利要求1或2所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述导轨两侧面设有凹槽,所述导轨截面呈“工”字形,所述滑动块上表面设有卡槽,所述卡槽的截面呈“凸”字形,所述导轨下表面嵌入所述卡槽内,所述滑动块为多个。

9.根据权利要求1所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述风机通过风机变频器连接所述驱动机构。

10.根据权利要求1或9所述的一种带有集成风冷系统的扩散炉,其特征在于:所述驱动机构为动力电机。

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