[实用新型]一种光电元器件加工用离子注入装置

摘要

本实用新型公开了一种光电元器件加工用离子注入装置，包括箱体、支撑腿、底板、保护箱，所述箱体下方设置有所述支撑腿，所述支撑腿下方设置有所述底板，所述支撑腿之间设置有所述保护箱，所述保护箱内部设置有电机，所述电机上方设置有联轴器，所述联轴器上方设置有转轴，所述箱体内部设置有工作台，所述工作台上方设置有高压转角缸，所述高压转角缸之间设置有保护垫。有益效果在于：本实用新型通过设置高压转角缸和保护垫，对光电元器件进行固定的同时也保证了光电元器件的安全，避免了对光电元器件造成损坏，通过设置第一电动滑块和第二电动滑块，可以将离子喷头调节至不同的位置，保证了离子注入工作的顺利完成。

主权项

1.一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：包括箱体、支撑腿、底板、保护箱，所述箱体下方设置有所述支撑腿，所述支撑腿下方设置有所述底板，所述支撑腿之间设置有所述保护箱，所述保护箱内部设置有电机，所述电机上方设置有联轴器，所述联轴器上方设置有转轴，所述箱体内部设置有工作台，所述工作台上方设置有高压转角缸，所述高压转角缸之间设置有保护垫，所述箱体内侧设置有气压传感器，所述箱体上设置有滑槽，所述滑槽内部设置有第一电动滑块，所述第一电动滑块上设置有固定座，所述固定座之间设置有横梁，所述横梁上设置有滑轨，所述横梁外侧设置有第二电动滑块，所述第二电动滑块下方设置有离子喷头，所述箱体上方设置有真空泵，所述箱体前部设置有密封门，所述密封门前部设置有控制箱，所述控制箱内部设置有控制器，所述控制器与所述控制箱通过螺钉连接，所述控制箱上设置有显示屏，所述显示屏下方设置有控制按钮，所述控制箱侧面设置有拉手，所述控制按钮、所述气压传感器、所述第一电动滑块、所述第二电动滑块、所述离子喷头、所述真空泵、所述高压转角缸、所述电机和所述显示屏与所述控制器电连接。