[实用新型]一种光电元器件加工用离子注入装置

权利要求书

1.一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：包括箱体、支撑腿、底板、保护箱，所述箱体下方设置有所述支撑腿，所述支撑腿下方设置有所述底板，所述支撑腿之间设置有所述保护箱，所述保护箱内部设置有电机，所述电机上方设置有联轴器，所述联轴器上方设置有转轴，所述箱体内部设置有工作台，所述工作台上方设置有高压转角缸，所述高压转角缸之间设置有保护垫，所述箱体内侧设置有气压传感器，所述箱体上设置有滑槽，所述滑槽内部设置有第一电动滑块，所述第一电动滑块上设置有固定座，所述固定座之间设置有横梁，所述横梁上设置有滑轨，所述横梁外侧设置有第二电动滑块，所述第二电动滑块下方设置有离子喷头，所述箱体上方设置有真空泵，所述箱体前部设置有密封门，所述密封门前部设置有控制箱，所述控制箱内部设置有控制器，所述控制器与所述控制箱通过螺钉连接，所述控制箱上设置有显示屏，所述显示屏下方设置有控制按钮，所述控制箱侧面设置有拉手，所述控制按钮、所述气压传感器、所述第一电动滑块、所述第二电动滑块、所述离子喷头、所述真空泵、所述高压转角缸、所述电机和所述显示屏与所述控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述支撑腿与所述箱体焊接，所述支撑腿与所述底板通过螺钉连接，所述保护箱与所述底板通过螺钉连接，所述电机与所述底板通过螺栓连接。

3.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述电机与所述转轴通过所述联轴器连接，所述工作台与所述转轴通过螺纹连接，所述高压转角缸与所述工作台通过螺钉连接，所述保护垫与所述工作台粘接。

4.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述气压传感器与所述箱体通过螺钉连接，所述第一电动滑块与所述滑槽滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述固定座与所述第一电动滑块通过螺钉连接，所述横梁与所述固定座通过卡槽连接。

6.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述第二电动滑块与所述滑轨滑动连接，所述离子喷头与所述第二电动滑块通过螺钉连接。

7.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述密封门与所述箱体通过铰链连接，所述拉手与所述密封门通过螺钉连接。