[实用新型]一种金属有机化合物容器有效
| 申请号： | 201821835577.4 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209076639U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 周允红;金景一;胡松文;张磊;邓荣斌;段良飞;段谦 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00;B01J19/00 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及金属有机化合物气相沉积技术，具体为金属有机化合物容器，包括罐体，其特征在于该容器还包括进气阀和输出阀，其中：罐体顶部贯穿有进气阀、输出阀，输出阀衔接输出管道，输出管道延伸至罐体底部上方，罐体底部对应处弧形凹槽；罐体内设置水平的隔板，输出管道贯穿隔板，隔板与输出管道接触位置以及隔板外围设置带密封圈的导向环，通过导向环使隔板沿罐体内壁垂直滑动，并将罐体内部分隔为上部的载气腔室以及下部的金属有机化合物腔室，进气阀与载气腔室连通，输出阀通过输出管道与金属有机化合物腔室连通。该装置避免了载气不纯带来的污染源，同时也避免了金属有机化合物输出的比例不恒定等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 金属有机化合物 隔板 输出管道 输出阀 罐体 进气阀 导向环 载气腔 腔室 连通 金属有机化合物气相沉积 密封圈 恒定 本实用新型 垂直滑动 罐体顶部 罐体内壁 罐体内部 弧形凹槽 接触位置 贯穿 载气 分隔 污染源 外围 输出 衔接 延伸 | ||
【主权项】：
1.金属有机化合物容器，包括罐体(1)，其特征在于该容器还包括进气阀(6)和输出阀(7)，其中：罐体(1)顶部贯穿有进气阀(6)、输出阀(7)，输出阀(7)衔接输出管道(8)，输出管道(8)延伸至罐体(1)底部上方，罐体(1)底部对应处弧形凹槽(2)；罐体(1)内设置水平的隔板(3)，输出管道(8)贯穿隔板(3)，隔板(3)与输出管道(8)接触位置以及隔板(3)外围设置带密封圈的导向环(4)，通过导向环(4)使隔板(3)沿罐体(1)内壁垂直滑动，并将罐体(1)内部分隔为上部的载气腔室以及下部的金属有机化合物腔室，进气阀(6)与载气腔室连通，输出阀(7)通过输出管道(8)与金属有机化合物腔室连通。
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