[实用新型]一种金属有机化合物容器有效
| 申请号： | 201821835577.4 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209076639U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 周允红;金景一;胡松文;张磊;邓荣斌;段良飞;段谦 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J4/00 | 分类号： | B01J4/00;B01J19/00 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属有机化合物 隔板 输出管道 输出阀 罐体 进气阀 导向环 载气腔 腔室 连通 金属有机化合物气相沉积 密封圈 恒定 本实用新型 垂直滑动 罐体顶部 罐体内壁 罐体内部 弧形凹槽 接触位置 贯穿 载气 分隔 污染源 外围 输出 衔接 延伸 | ||
【权利要求书】：
1.金属有机化合物容器，包括罐体(1)，其特征在于该容器还包括进气阀(6)和输出阀(7)，其中：罐体(1)顶部贯穿有进气阀(6)、输出阀(7)，输出阀(7)衔接输出管道(8)，输出管道(8)延伸至罐体(1)底部上方，罐体(1)底部对应处弧形凹槽(2)；罐体(1)内设置水平的隔板(3)，输出管道(8)贯穿隔板(3)，隔板(3)与输出管道(8)接触位置以及隔板(3)外围设置带密封圈的导向环(4)，通过导向环(4)使隔板(3)沿罐体(1)内壁垂直滑动，并将罐体(1)内部分隔为上部的载气腔室以及下部的金属有机化合物腔室，进气阀(6)与载气腔室连通，输出阀(7)通过输出管道(8)与金属有机化合物腔室连通。
2.如权利要求1所述的金属有机化合物容器，其特征在于载气腔室内顶部还设置有距离传感器(5)，距离传感器(5)垂直向下设置。
3.如权利要求1所述的金属有机化合物容器，其特征在于金属有机化合物腔室内壁设置若干温度传感器()，以便测量内部金属有机化合物的温度。
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