[实用新型]一种金属有机化合物容器

说明书

本实用新型涉及金属有机化合物气相沉积技术，具体为金属有机化合物容器，包括罐体，其特征在于该容器还包括进气阀和输出阀，其中：罐体顶部贯穿有进气阀、输出阀，输出阀衔接输出管道，输出管道延伸至罐体底部上方，罐体底部对应处弧形凹槽；罐体内设置水平的隔板，输出管道贯穿隔板，隔板与输出管道接触位置以及隔板外围设置带密封圈的导向环，通过导向环使隔板沿罐体内壁垂直滑动，并将罐体内部分隔为上部的载气腔室以及下部的金属有机化合物腔室，进气阀与载气腔室连通，输出阀通过输出管道与金属有机化合物腔室连通。该装置避免了载气不纯带来的污染源，同时也避免了金属有机化合物输出的比例不恒定等缺陷。

技术领域

本发明涉及金属有机化合物气相沉积技术，尤其涉及实现金属有机化学气相沉积工艺过程的蒸气压稳定及封装容器，属于光电子新材料技术领域。

背景技术

金属有机化合物是半导体行业中生长光电子材料的重要原料，大多数金属有机化合物都是易燃易爆化学品，室温即可自燃，与空气和水等易发生剧烈反应。对加工工艺及控制要求极高。尤其是oled制造领域，在加工过程中，要保证进入反应腔室的金属有机化合物的流量是否稳定，并且不能含有等对产品质量有影响的外来杂质成分。

而如今大多数的金属有机化合物作为前驱体，导入反应腔室进行产品制造，其方法主要是通过载气进入，载气与金属有机化合物混合后进入反应腔室。该方法结构简单、成本低、容易实现，但却存在以下三个问题：1）大多数企业载气一般通过管道输送，长期使用会携带有管道中残留或产生的杂质进入前驱体存储罐，堵塞气路，杂质进入反应腔室会造成产品的质量缺陷；2）管道载气的纯净度要求不高，含有其他成分气体会导致与前驱体发生反应降低前驱体质量，从而造成产品质量缺陷，或者导致危险发生；3）载气进入前驱体存储罐后，无法保证前驱体的流出量恒定，随着载气的进入，由于各成分的分压不一致，前驱体的流出量出现不恒定甚至下降，导致产品成品率下降和质量问题。

另外，现有的金属有机化合物容器其灌装金属有机化合物工序十分繁琐切危险，需要清除原有金属有机化合物，在充装新的装金属有机化合物。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种金属有机化合物容器。

本发明的金属有机化合物容器，包括罐体，其特征在于该容器还包括进气阀和输出阀，其中：

罐体顶部贯穿有进气阀、输出阀，输出阀衔接输出管道，输出管道延伸至罐体底部上方，罐体底部对应处弧形凹槽；罐体内设置水平的隔板，输出管道贯穿隔板，隔板与输出管道接触位置以及隔板外围设置带密封圈的导向环，通过导向环使隔板沿罐体内壁垂直滑动，并将罐体内部分隔为上部的载气腔室以及下部的金属有机化合物腔室，进气阀与载气腔室连通，输出阀通过输出管道与金属有机化合物腔室连通。

进一步的，载气腔室内顶部还设置有距离传感器，距离传感器垂直向下设置，可以通过隔板的位置计算出金属有机化合物的剩余量。

进一步的，在金属有机化合物腔室内壁设置若干温度传感器，以便测量内部金属有机化合物的温度。

工作时，载气从进气阀进入载气腔室，隔板被往下推，从而使得金属有机化合物从输出管道输出，充填金属有机化合物则反向操作即可；可根据距离传感器计算得到载气腔室内的载气体积，通过总体积减去载气体积计算得出金属有机化合物的剩余量。

具体的，金属有机化合物腔室容纳的金属有机化合物包括但不限于三甲基铝、三乙基铝、三甲基铟、三甲基镓、三乙基镓、三甲基锑、三乙基锑、二叔丁基碲、二乙基碲和二茂镁；载气腔室内通入的载气包括但不限于空气、氮气、氢气、氩气和氦气。

该结构设计简单，加工方便，容器的有效体积可得到充分利用，特别是载气不与金属有机化合物进行混合，避免了载气不纯带来的污染源，同时也避免了原有载气与金属有机化合物混合后带来的金属有机化合物输出的比例不恒定等缺陷。

附图说明