[实用新型]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821835464.4 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN209456547U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王昆 | 申请（专利权）人： | 天津富可达塑胶制品加工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 300354 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空镀膜装置，涉及镀膜设备技术领域，该真空镀膜装置包括镀膜室、蒸发装置以及冷却装置；镀膜室包括内室和外室，且外室包裹在内室的外侧；内室上开设有多个出气口，蒸发装置设置在外室与内室的间隙处，蒸发装置产生的蒸镀材料能够通过出气口覆盖在被镀膜基片上；冷却装置包括导热管和导热壁，导热管设置在内室的腔壁上，且导热管具有出水口和进水口，出水口和进水口分别伸出镀膜室，导热壁位于导热管的两侧，分别与内室的腔壁连接，以缓解现有技术中进行真空镀膜时对于真空镀膜装置内部产生的热量冷却效果不够显著等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 内室 真空镀膜装置 导热管 蒸发装置 镀膜室 外室 冷却装置 出气口 出水口 导热壁 进水口 腔壁 本实用新型 镀膜基片 镀膜设备 热量冷却 真空镀膜 蒸镀材料 间隙处 伸出 缓解 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括镀膜室、蒸发装置以及冷却装置；所述镀膜室包括内室和外室，且所述外室包裹在所述内室的外侧；所述内室上开设有多个出气口，所述蒸发装置设置在所述外室与所述内室的间隙处，所述蒸发装置产生的蒸镀材料能够通过所述出气口覆盖在被镀膜基片上；所述冷却装置包括导热管和导热壁，所述导热管设置在所述内室的腔壁上，且所述导热管具有出水口和进水口，所述出水口和所述进水口分别伸出所述镀膜室，所述导热壁位于所述导热管的两侧，分别与所述内室的腔壁连接。
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