[实用新型]真空镀膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括镀膜室、蒸发装置以及冷却装置；

所述镀膜室包括内室和外室，且所述外室包裹在所述内室的外侧；所述内室上开设有多个出气口，所述蒸发装置设置在所述外室与所述内室的间隙处，所述蒸发装置产生的蒸镀材料能够通过所述出气口覆盖在被镀膜基片上；

所述冷却装置包括导热管和导热壁，所述导热管设置在所述内室的腔壁上，且所述导热管具有出水口和进水口，所述出水口和所述进水口分别伸出所述镀膜室，所述导热壁位于所述导热管的两侧，分别与所述内室的腔壁连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置,其特征在于，所述冷却装置还包括与所述导热管连接的储液室；

所述储液室位于所述镀膜室的外侧，所述导热管的进水口和出水口分别与所述储液室连通。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜装置,其特征在于，所述冷却装置还包括冷凝室；

所述冷凝室与所述导热管的出水口连通，经所述出水口流出的液体流向所述冷凝室冷凝后，再次流向所述储液室。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置,其特征在于，所述真空镀膜装置还包括载片装置；

所述载片装置设置在所述内室中，所述载片装置用于承载需要被镀膜基片。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜装置,其特征在于，所述载片装置包括载片座和与所述载片座滑动连接的载板，所述载片座固设在所述内室，所述载板用于吸附被镀膜基片。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜装置,其特征在于，所述载板包括支架、连接件、转动件和吸附件；

所述支架与所述载片座滑动连接，所述连接件固设在所述支架上，且所述连接件远离所述支架的一端与所述转动件铰接，所述吸附件与所述转动件远离所述连接件的一端固接。

7.根据权利要求1-6任一项所述的真空镀膜装置,其特征在于，所述真空镀膜装置还包括抽真空装置；

所述抽真空装置与所述内室连通。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜装置,其特征在于，所述抽真空装置包括机械泵、增压泵和油扩散泵；

所述机械泵、增压泵和油扩散泵分别通过四通阀连接，且所述四通阀通过真空管道与所述内室连通。