[实用新型]一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置有效
| 申请号： | 201821831574.3 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN208980791U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 周银双;严舶 | 申请（专利权）人： | 大方盛德汽车科技扬州有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京市炜衡律师事务所 11375 | 代理人： | 孙文杰 |
| 地址： | 211400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。本实用新型通过围绕2个不同的轴线进行360度的旋转，从而解决产品多型面的PVD镀层厚度偏薄问题，可以大大提高生产效率、镀层的性能和外观质量。 | ||
| 搜索关键词： | 子轴 驱动模块 物理气象沉积 本实用新型 工装装置 轴线转动 多维度 传动连接 电机传动 生产效率 镀层 电机 | ||
【主权项】：
1.一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大方盛德汽车科技扬州有限公司，未经大方盛德汽车科技扬州有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821831574.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光学镜片镀膜座
- 下一篇：用于制备氧化铝膜的PECVD装置
- 同类专利
- 专利分类
