[实用新型]一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置

说明书

本实用新型公开了一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。本实用新型通过围绕2个不同的轴线进行360度的旋转，从而解决产品多型面的PVD镀层厚度偏薄问题，可以大大提高生产效率、镀层的性能和外观质量。

技术领域

本发明属于物理气象沉积(PVD)工艺的工装，该工装为工件提供支撑和固定，以便工件上实现PVD镀层。

背景技术

现有的技术为固定的工装或者单轴旋转的工装。

该技术对多型面的产品，部分产品表面PVD镀层会有困难，镀层厚度偏薄达不到要求，往往都过增加工件在工装上排放距离来解决多型面PVD镀层问题，排放距离的增大，意味着单位时间的生产工件数量减少，生产效率降低。

实用新型内容

实用新型目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，该装置通过围绕2个不同的轴线进行360度的旋转，从而解决产品多型面的PVD镀层厚度偏薄问题，可以大大提高生产效率、镀层的性能和外观质量。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。

进一步地：还包括夹具，所述夹具用于固定工件，所述夹具设置在分支上。

进一步地：还包括工作台，所述主轴(1)通过轴承安装在工作台上。

优选的：所述驱动模块一(3)、驱动模块二(4)均为齿轮组件。

优选的：所述子轴(2)为6个。

优选的：所述子轴(2)成对设置，互成一对的子轴相互对称设置在主轴(1)上。

优选的：所述分支为4个。

优选的：所述分支成对设置，互成一对的分支相互对称设置在子轴(2)上。

本实用新型相比现有技术，具有以下有益效果：

工件放置在子轴上，随着主轴、子轴进行2个轴线360度旋转，产品需要PVD的型面无死角，增加工件排放数量。

多型面工件，表面PVD镀层均匀，工件的PVD镀层性能提升。

多型面工件，表面PVD镀层均匀，工件的PVD镀层的外观质量得到提升。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为驱动模块一的结构示意图；

图3为驱动模块二的结构示意图。

具体实施方式