[实用新型]一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置

权利要求书

1.一种可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：包括主轴(1)、一个以上的子轴(2)、驱动模块一(3)、驱动模块二(4)以及电机，所述主轴(1)通过驱动模块一(3)与电机传动连接，且所述主轴(1)绕主轴的轴线转动，所述子轴(2)通过驱动模块二(4)与主轴(1)传动连接，且所述子轴(2)绕子轴的轴线转动，所述子轴(2)的轴线与主轴(1)的轴线在形成夹角，所述子轴(2)上设置有一个以上的分支，所述分支的轴线与子轴(2)的轴线在形成夹角。

2.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：还包括夹具，所述夹具用于固定工件，所述夹具设置在分支上。

3.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：还包括工作台，所述主轴(1)通过轴承安装在工作台上。

4.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：所述驱动模块一(3)、驱动模块二(4)均为齿轮组件。

5.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：所述子轴(2)为6个。

6.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：所述子轴(2)成对设置，互成一对的子轴相互对称设置在主轴(1)上。

7.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：所述分支为4个。

8.根据权利要求1所述可多维度旋转的物理气象沉积工艺的工装装置，其特征在于：所述分支成对设置，互成一对的分支相互对称设置在子轴(2)上。