[实用新型]一种硅片用自动清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片用自动清洗装置，包括承载板以及安装架，所述安装架安置于承载板上壁面，且侧壁面安装有动态清洗结构，所述承载板上壁面且位于动态清洗结构下方安装有超声震动结构，本实用新型涉及硅片清洗技术领域，通过动态清洗结构实现了硅片的动态清洗过程，通过超声震动结构使得清洗的更加彻底，通过上述结构的相互配合，实现了硅片自动动态清洗的功能。

主权项

1.一种硅片用自动清洗装置，包括承载板(1)以及安装架(2)，其特征在于，所述安装架(2)安置于承载板(1)上壁面，且侧壁面安装有动态清洗结构，所述承载板(1)上壁面且位于动态清洗结构下方安装有超声震动结构；所述动态清洗结构，其包括：第一伺服电机(3)、连接杆(4)、Y型旋转杆(5)、活动杆(6)、固定杆(7)以及放置架(8)；所述第一伺服电机(3)安置于安装架(2)侧壁面，所述连接杆(4)安置于第一伺服电机(3)驱动端上，所述Y型旋转杆(5)安置于连接杆(4)上，所述活动杆(6)活动连接与Y型旋转杆(5)上，所述固定杆(7)安置于活动杆(6)侧壁面，所述放置架(8)安置于Y型旋转杆(5)另一侧端头上；所述超声震动结构，其包括：第二伺服电机(9)、安装板(10)、支撑杆(11)、一对结构相同的超声波发生器(12)、一对结构相同的超声波换能器(13)以及洗液盆(14)；所述第二伺服电机(9)安置于承载板(1)上壁面，所述安装板(10)安置于第二伺服电机(9)驱动端上，所述支撑杆(11)安置于安装板(10)上壁面，一对所述超声波发生器(12)安置于安装板(10)上壁面且位于支撑杆(11)两侧，一对所述超声波换能器(13)安置于一对所述超声波发生器(12)端头上，所述洗液盆(14)安置于支撑杆(11)上。