[实用新型]管状玻璃真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821761300.1 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN209243160U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 何小锐;郑健 | 申请（专利权）人： | 深圳市派恩新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/26;C03C17/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王玮 |
| 地址： | 518117 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种管状玻璃真空镀膜装置，包括真空镀膜腔体、运料装置、与真空镀膜腔体相连的真空泵。真空镀膜腔体底部设有加热坩埚和离子源，四周侧壁设有方便进料和出料的自动门，自动门与气缸相连；运料装置包括分设于真空镀膜腔体两侧的传送带及其驱动机构，传送带设有夹持机构，两相邻夹持机构的距离相等，两侧传送带的夹持机构的数量相同且关于两侧传送带的中心线对称。本实用新型管状玻璃真空镀膜装置，运料装置的传送带分设于真空镀膜腔体的两侧，两侧传送带设有的夹持机构共同夹持住管状玻璃的两端，使管状玻璃被稳定的固定住，传送带自动将管状玻璃送入真空镀膜腔体进行镀膜，简化镀膜操作，提高镀膜的自动化程度，提高管状玻璃镀膜的加工速度。 | ||
| 搜索关键词： | 传送带 管状玻璃 真空镀膜腔 夹持机构 镀膜 真空镀膜装置 运料装置 本实用新型 自动门 分设 中心线对称 加热坩埚 距离相等 驱动机构 四周侧壁 离子源 真空泵 出料 夹持 气缸 送入 自动化 加工 | ||
【主权项】：
1.一种管状玻璃真空镀膜装置，包括真空镀膜腔体、运料装置、与真空镀膜腔体相连的真空泵，其特征在于：所述真空镀膜腔体底部设有加热坩埚和离子源，四周侧壁设有方便进料和出料的自动门，所述自动门与气缸相连；所述运料装置包括分设于所述真空镀膜腔体两侧的传送带及其驱动机构，所述传送带设有夹持机构，两相邻夹持机构的距离相等，两侧传送带的夹持机构的数量相同且关于两侧传送带的中心线对称。
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