[实用新型]管状玻璃真空镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201821761300.1 申请日: 2018-10-29
公开(公告)号: CN209243160U 公开(公告)日: 2019-08-13
发明(设计)人: 何小锐;郑健 申请(专利权)人: 深圳市派恩新材料技术有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/26;C03C17/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 王玮
地址: 518117 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 传送带 管状玻璃 真空镀膜腔 夹持机构 镀膜 真空镀膜装置 运料装置 本实用新型 自动门 分设 中心线对称 加热坩埚 距离相等 驱动机构 四周侧壁 离子源 真空泵 出料 夹持 气缸 送入 自动化 加工
【权利要求书】:

1.一种管状玻璃真空镀膜装置,包括真空镀膜腔体、运料装置、与真空镀膜腔体相连的真空泵,其特征在于:

所述真空镀膜腔体底部设有加热坩埚和离子源,四周侧壁设有方便进料和出料的自动门,所述自动门与气缸相连;

所述运料装置包括分设于所述真空镀膜腔体两侧的传送带及其驱动机构,所述传送带设有夹持机构,两相邻夹持机构的距离相等,两侧传送带的夹持机构的数量相同且关于两侧传送带的中心线对称。

2.如权利要求1所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述夹持机构包括用于固定管状玻璃的夹具组件、导杆和气缸。

3.如权利要求2所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述夹具组件包括夹具本体和内嵌在夹具本体上的转动盘,所述转动盘设有安装槽,所述安装槽装设有固定爪,所述夹具本体内设有驱动所述转动盘转动的电机和驱动所述固定爪在安装槽上运动的气缸。

4.如权利要求3所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述固定爪为弧状,且其弧状侧面设有防滑橡胶。

5.如权利要求2所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,与所述传送带平行的自动门和真空镀膜腔体侧壁分设有卡槽,自动门的卡槽与真空镀膜腔体侧壁的卡槽适于在自动门闭合时形成固定夹具组件的固定孔,且所述卡槽内侧设有密封胶条。

6.如权利要求1所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述驱动机构分设在传送带的两端,所述驱动机构包括辊轴以及驱动辊轴转动和移动的电机、丝杆和导杆,所述辊轴两端分别与两侧传送带的一端相连,驱动两侧传送带作同步运动。

7.如权利要求1所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述管状玻璃真空镀膜装置的顶端设有螺孔,便于将管状玻璃真空镀膜装置顶端的固定。

8.如权利要求1所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述加热坩埚周侧和底部设有线圈,所述线圈与电源相连。

9.如权利要求1所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述加热坩埚的数量和离子源的数量的相等。

10.如权利要求9所述管状玻璃真空镀膜装置,其特征在于,所述加热坩埚和离子源均匀设置。

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