[实用新型]一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置

摘要

本实用新型一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板、软胶套管、吸盘和内筒，所述底板的底端均匀安装有移动轮，所述底板顶端的左侧固定安装有负压箱，所述负压箱的顶端固定安装有连接管道，所述连接管道的顶端设置有连接头，所述负压箱顶端的右侧固定安装有放置架，且放置架的顶端设置有手握管，所述吸盘的内部设置有棉絮包，所述外套筒的顶端设置有环形槽，所述环形槽与环形块连接。本实用新型通过调节吸盘的角度，避免吸盘将半导体晶粒压坏，在底板顶端增加结构稳定合理的存储结构，提升实用性，加强连接头与连接管道之间的连接，保障装置的稳定性。

主权项

1.一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板(1)、软胶套管(9)、吸盘(16)和内筒(23)，其特征在于：所述底板(1)的底端均匀安装有移动轮(2)，所述底板(1)顶端的左侧固定安装有负压箱(3)，且负压箱(3)的左侧设置有漏气管(4)，所述漏气管(4)的内部安装有漏气塞(5)，所述负压箱(3)的正面设置有抽气管(28)，所述负压箱(3)的顶端固定安装有连接管道(6)，所述连接管道(6)的顶端设置有连接头(7)，且连接头(7)的外壁包裹有箍环(8)，所述连接头(7)的顶端设置有气管软管(12)，所述负压箱(3)顶端的右侧固定安装有放置架(18)，且放置架(18)的顶端设置有手握管(13)，所述气管软管(12)贯穿手握管(13)，所述手握管(13)的外壁包裹有防滑套(14)，所述手握管(13)顶端的左侧固定安装有滑动套(15)，所述气管软管(12)远离连接头(7)的一端安装有吸盘(16)，所述滑动套(15)的内部设置有滑动杆(17)，所述吸盘(16)的开口端固定安装有硅胶圈(19)，所述吸盘(16)的内部设置有棉絮包(20)，所述底板(1)顶端的左侧固定安装有外套筒(21)，且外套筒(21)的顶端设置有放置片(22)，所述放置片(22)的底端固定安装有内筒(23)，所述放置片(22)的底端设置环形块(27)，所述外套筒(21)的顶端设置有环形槽(26)，所述环形槽(26)与环形块(27)连接。