[实用新型]一种轻减装置

摘要

本实用新型提供一种轻减装置，包括：设有安装部的底座；可转动地设在安装部上的转轴；间隔开设在转轴上的两个支撑部且两个支撑部的间距可调，两个支撑部用于支撑限定晶圆上料箱；距离传感器，距离传感器用于检测两个支撑部之间的距离并发出距离信号；报警器，报警器能够接收到距离信号，报警器接收到距离信号后开始报警或停止报警。根据本实用新型的轻减装置，能够精确地对上料箱进行限位，通过调节两个支撑部的间距能够对不同尺寸的料箱进行限位，使得料箱稳定移动，减小偏差，保证晶圆上料的精确度，提高生产效率，距离传感器用于检测两个支撑部之间的距离，控制器能够控制驱动装置驱动或停止驱动转轴转动。

主权项

1.一种轻减装置，其特征在于，包括：底座，所述底座上设有安装部；转轴，所述转轴可转动地设在所述安装部上；两个支撑部，两个所述支撑部间隔开设在所述转轴上且两个所述支撑部的间距可调，两个所述支撑部用于支撑限定晶圆上料箱；距离传感器，所述距离传感器用于检测两个所述支撑部之间的距离并生成发出相应的距离信号；报警器，所述报警器能够接收到所述距离信号，所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警。