[实用新型]一种轻减装置

说明书

本实用新型提供一种轻减装置，包括：设有安装部的底座；可转动地设在安装部上的转轴；间隔开设在转轴上的两个支撑部且两个支撑部的间距可调，两个支撑部用于支撑限定晶圆上料箱；距离传感器，距离传感器用于检测两个支撑部之间的距离并发出距离信号；报警器，报警器能够接收到距离信号，报警器接收到距离信号后开始报警或停止报警。根据本实用新型的轻减装置，能够精确地对上料箱进行限位，通过调节两个支撑部的间距能够对不同尺寸的料箱进行限位，使得料箱稳定移动，减小偏差，保证晶圆上料的精确度，提高生产效率，距离传感器用于检测两个支撑部之间的距离，控制器能够控制驱动装置驱动或停止驱动转轴转动。

技术领域

本实用新型涉及机械制造技术领域，特别涉及一种轻减装置。

背景技术

生产中常需要传输上料装置进行上料，不同的上料需求对上料装置的精确度要求不同，现有的一些上料装置虽然能够满足上料要求，但是由于精确度地，影响生产加工产品的生产质量和效率，可能由于上料不当影响后续的生产过程。半导体制造已经成为重要产业，在半导体加工过程中晶圆是重要的半导体材料，在半导体的加工生产过程中，需要将晶圆放置于晶圆料盒或晶圆料箱中，由于晶圆料盒或晶圆料箱的尺寸大小不同，现有的晶圆料盒的限位装置尺寸固定，难以同时适用于不同尺寸的晶圆料盒，在晶圆料盒向前移动的过程中，易导致料盒的位置出现偏差，使得晶圆位置出现偏差，影响晶圆的上料，晶圆的精确度要求高，如果出现位置偏差易影响后续生产工序，降低生产效率，给生产带来不便。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种轻减装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

根据本实用新型实施例的轻减装置，包括：

底座，所述底座上设有安装部；

转轴，所述转轴可转动地设在所述安装部上；

两个支撑部，两个所述支撑部间隔开设在所述转轴上且两个所述支撑部的间距可调，两个所述支撑部用于支撑限定晶圆上料箱；

距离传感器，所述距离传感器用于检测两个所述支撑部之间的距离并生成发出相应的距离信号；

报警器，所述报警器能够接收到所述距离信号，所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警。

进一步地，所述距离传感器构成为当两个所述支撑部之间的距离大于距离阈值时所述距离传感器生成发出能够报警的距离信号，所述报警器接收到所述能够报警的距离信号后开始报警。

进一步地，所述轻减装置还包括：

驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述转轴转动。

进一步地，所述轻减装置还包括：

控制器，所述控制器能够接收到所述距离信号，所述控制器接收到所述距离信号后控制所述驱动装置驱动或停止驱动所述转轴转动。

进一步地，所述控制器能够接收到所述能够报警的距离信号，所述控制器接收到所述能够报警的距离信号后控制所述驱动装置停止驱动所述转轴转动。

进一步地，所述轻减装置还包括：

计时器，所述控制器接收到所述能够报警的距离信号时所述计时器开始计时，所述计时器的计时时间达到设定时间后所述计时器发出计时信号，所述控制器接收到所述计时信号后控制所述驱动装置停止驱动所述转轴转动。

进一步地，所述支撑部包括：

圆盘，所述圆盘中部形成有安装孔，所述安装孔的轴线与所述圆盘的轴线共线，所述圆盘套设在所述转轴上；