[实用新型]一种轻减装置有效
| 申请号: | 201821711939.9 | 申请日: | 2018-10-22 |
| 公开(公告)号: | CN208903987U | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
| 发明(设计)人: | 王时良;张茜;马超 | 申请(专利权)人: | 旺天凯精密机器(昆山)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人: | 赵晓芳 |
| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 支撑 距离传感器 报警器 距离信号 本实用新型 上料箱 晶圆 料箱 限位 转轴 报警 控制驱动装置 间隔开设 间距可调 生产效率 停止驱动 稳定移动 转轴转动 控制器 可转动 检测 减小 上料 底座 驱动 保证 | ||
1.一种轻减装置,其特征在于,包括:
底座,所述底座上设有安装部;
转轴,所述转轴可转动地设在所述安装部上;
两个支撑部,两个所述支撑部间隔开设在所述转轴上且两个所述支撑部的间距可调,两个所述支撑部用于支撑限定晶圆上料箱;
距离传感器,所述距离传感器用于检测两个所述支撑部之间的距离并生成发出相应的距离信号;
报警器,所述报警器能够接收到所述距离信号,所述报警器接收到所述距离信号后开始报警或停止报警。
2.根据权利要求1所述的轻减装置,其特征在于,所述距离传感器构成为当两个所述支撑部之间的距离大于距离阈值时所述距离传感器生成发出能够报警的距离信号,所述报警器接收到所述能够报警的距离信号后开始报警。
3.根据权利要求2所述的轻减装置,其特征在于,还包括:
驱动装置,所述驱动装置用于驱动所述转轴转动。
4.根据权利要求3所述的轻减装置,其特征在于,还包括:
控制器,所述控制器能够接收到所述距离信号,所述控制器接收到所述距离信号后控制所述驱动装置驱动或停止驱动所述转轴转动。
5.根据权利要求4所述的轻减装置,其特征在于,所述控制器能够接收到所述能够报警的距离信号,所述控制器接收到所述能够报警的距离信号后控制所述驱动装置停止驱动所述转轴转动。
6.根据权利要求5所述的轻减装置,其特征在于,还包括:
计时器,所述控制器接收到所述能够报警的距离信号时所述计时器开始计时,所述计时器的计时时间达到设定时间后所述计时器发出计时信号,所述控制器接收到所述计时信号后控制所述驱动装置停止驱动所述转轴转动。
7.根据权利要求1所述的轻减装置,其特征在于,所述支撑部包括:
圆盘,所述圆盘中部形成有安装孔,所述安装孔的轴线与所述圆盘的轴线共线,所述圆盘套设在所述转轴上;
圆轴,所述圆轴上形成有沿其轴向贯穿的轴孔,所述圆轴与所述圆盘的内侧相连且所述圆轴的轴线与所述圆盘的轴线共线,所述圆轴套设在所述转轴上且与所述圆轴之间限定有间隔空间;
限定部,所述限定部设在所述圆盘的外侧,所述限定部能够止抵或远离所述转轴。
8.根据权利要求7所述的轻减装置,其特征在于,所述限定部包括:
连接轴,所述连接轴的一端与所述圆盘的外侧相连且所述连接轴与所述转轴平行,所述连接轴上形成有沿其径向贯穿的螺孔,所述螺孔的轴线与所述转轴的轴线垂直且共面;
螺杆,所述螺杆的一端穿过所述螺孔中,所述螺杆的一端能够止抵或远离所述转轴。
9.根据权利要求8所述的轻减装置,其特征在于,所述转轴上与所述螺孔对应的位置形成有限定螺孔,所述螺杆的一端能够旋入或脱离所述限定螺孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





