[实用新型]保护环组件及具有该组件的等离子体注入装置

摘要

本公开提出一种保护环组件及具有该组件的等离子体注入装置，保护环组件包括本体以及多个安装螺丝。本体呈环状结构，且具有分别朝向和背向处理腔室的安装表面和外表面，本体开设有多条贯穿安装表面和外表面的狭缝，狭缝被配置为供等离子体穿过，安装表面开设有多个安装孔槽。多个安装螺丝可拆装地设于处理腔室，安装螺丝具有露出于处理腔室的螺帽，螺帽外周设有卡环，卡环的外径大于安装孔槽的孔径。其中，安装螺丝的螺帽被配置为卡入安装孔槽中，且卡环过盈配合于安装孔槽的槽壁。

主权项

1.一种保护环组件，安装于等离子体注入装置中，所述等离子体注入装置具有处理腔室，其特征在于，所述保护环组件包括：本体，呈环状结构，且具有分别朝向和背向所述处理腔室的安装表面和外表面，所述本体开设有多条贯穿所述安装表面和所述外表面的狭缝，所述狭缝被配置为供等离子体穿过，所述安装表面开设有多个安装孔槽；以及多个安装螺丝，可拆装地设于所述处理腔室，所述安装螺丝具有露出于所述处理腔室的螺帽，所述螺帽外周设有卡环，所述卡环的外径大于所述安装孔槽的孔径；其中，所述安装螺丝的所述螺帽被配置为卡入所述安装孔槽中，且所述卡环过盈配合于所述安装孔槽的槽壁。