[实用新型]保护环组件及具有该组件的等离子体注入装置有效
| 申请号： | 201821683354.0 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN208767256U | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 安装孔槽 安装螺丝 等离子体 螺帽 安装表面 处理腔室 环组件 卡环 注入装置 狭缝 过盈配合 环状结构 可拆装 槽壁 卡入 外周 配置 穿过 贯穿 | ||
1.一种保护环组件，安装于等离子体注入装置中，所述等离子体注入装置具有处理腔室，其特征在于，所述保护环组件包括：
本体，呈环状结构，且具有分别朝向和背向所述处理腔室的安装表面和外表面，所述本体开设有多条贯穿所述安装表面和所述外表面的狭缝，所述狭缝被配置为供等离子体穿过，所述安装表面开设有多个安装孔槽；以及
多个安装螺丝，可拆装地设于所述处理腔室，所述安装螺丝具有露出于所述处理腔室的螺帽，所述螺帽外周设有卡环，所述卡环的外径大于所述安装孔槽的孔径；
其中，所述安装螺丝的所述螺帽被配置为卡入所述安装孔槽中，且所述卡环过盈配合于所述安装孔槽的槽壁。
2.根据权利要求1所述的保护环组件，其特征在于，所述本体的介于其外表面与所述安装孔槽的槽底之间的部分的厚度大于1毫米。
3.根据权利要求2所述的保护环组件，其特征在于，所述本体的介于其外表面与所述安装孔槽的槽底之间的部分的厚度为3毫米～5毫米。
4.根据权利要求1所述的保护环组件，其特征在于，所述安装螺丝的螺帽外周设有环形凹槽，所述卡环设于所述环形凹槽，且所述卡环的外周露出于所述螺帽的外周。
5.根据权利要求1所述的保护环组件，其特征在于，每个所述安装螺丝的所述螺帽外周设有多个所述卡环，多个所述卡环沿所述安装螺丝的轴向间隔分布。
6.根据权利要求1所述的保护环组件，其特征在于，所述卡环的材质为橡胶。
7.根据权利要求1所述的保护环组件，其特征在于，多条所述狭缝与多个所述安装孔槽在所述本体所对应的环状路径上间隔均匀地交替分布。
8.根据权利要求7所述的保护环组件，其特征在于，所述本体上开设有四条狭缝，四条所述狭缝在所述本体所对应的环状路径上间隔均匀分布。
9.根据权利要求8所述的保护环组件，其特征在于，所述本体的安装表面开设有四个所述安装孔槽，四个所述安装孔槽在所述本体所对应的环状路径上间隔均匀分布。
10.一种等离子体注入装置，具有处理腔室，所述处理腔室设有保护环，其特征在于，所述保护环为权利要求1～9任一项所述的保护环组件。
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