[实用新型]石英保温桶

摘要

本实用新型提供了一种石英保温桶，石英保温桶竖直放置在固定面上，石英保温桶对晶圆片保温，石英保温桶包括：桶体、底板、端盖和保温片；桶体为两端具有开口的中空腔体，且晶圆片嵌于桶体内；底板盖合在桶体的底端开口处，且将桶体的底端开口闭合；端盖上设置有通孔，端盖盖合在桶体的顶端开口处，且通孔与桶体相通；至少两个保温片套设在桶体的外侧。当嵌于桶体内的晶圆片进行散热时，通过将至少两个保温片套设在桶体的外侧，可实现对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏及避免工艺气相沉积因温度产生晶圆不良率，进而提高了晶圆片的质量，及晶圆片表面长膜均匀性。

主权项

1.一种石英保温桶，所述石英保温桶竖直放置在固定面上，所述石英保温桶对晶圆片保温，其特征在于，所述石英保温桶包括：桶体，所述桶体为两端具有开口的中空腔体，且所述晶圆片嵌于所述桶体内；底板，所述底板盖合在所述桶体的底端开口处，且将所述桶体的底端开口闭合；端盖，所述端盖上设置有通孔，所述端盖盖合在所述桶体的顶端开口处，且所述通孔与所述桶体相通；保温片，至少两个所述保温片套设在所述桶体的外侧。