[实用新型]石英保温桶

说明书

本实用新型提供了一种石英保温桶，石英保温桶竖直放置在固定面上，石英保温桶对晶圆片保温，石英保温桶包括：桶体、底板、端盖和保温片；桶体为两端具有开口的中空腔体，且晶圆片嵌于桶体内；底板盖合在桶体的底端开口处，且将桶体的底端开口闭合；端盖上设置有通孔，端盖盖合在桶体的顶端开口处，且通孔与桶体相通；至少两个保温片套设在桶体的外侧。当嵌于桶体内的晶圆片进行散热时，通过将至少两个保温片套设在桶体的外侧，可实现对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏及避免工艺气相沉积因温度产生晶圆不良率，进而提高了晶圆片的质量，及晶圆片表面长膜均匀性。

技术领域

本实用新型涉及石英技术领域，具体而言，涉及一种石英保温桶。

背景技术

目前，在相关技术中，现有的石英保温桶由于在外侧未设置保温片，因此，石英保温桶的外表面成一整体，致使石英保温桶的散热面积增大，导致石英保温桶内的温度变化快，这就容易对嵌入石英保温桶内的晶圆片产生损坏，降低了晶圆片的质量。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的提出一种石英保温桶。

有鉴于此，本实用新型提供了一种石英保温桶，石英保温桶竖直放置在固定面上，石英保温桶对晶圆片保温，石英保温桶包括：桶体、底板、端盖和保温片；桶体为两端具有开口的中空腔体，且晶圆片嵌于桶体内；底板盖合在桶体的底端开口处，且将桶体的底端开口闭合；端盖上设置有通孔，端盖盖合在桶体的顶端开口处，且通孔与桶体相通；至少两个保温片套设在桶体的外侧。

在该技术方案中，通过将桶体设置为两端具有开口的中空腔体，以实现将晶圆片嵌于桶体内，从而对晶圆片进行保温；通过将底板盖合在桶体的底端开口处，以实现将桶体的底端开口进行闭合，从而提高石英保温桶的密封性。通过在端盖上设置有通孔，并将端盖盖合在桶体的顶端开口处，以实现将通孔与桶体相通；通过将至少两个保温片套设在桶体的外侧，以将桶体的外表面分隔成多个部分，减少单个部分的散热面积，以实现当对嵌于桶体内的晶圆片进行加热时，减缓桶体内温度的变化速度，从而使晶圆片的温度缓慢上升；同时，当嵌于桶体内的晶圆片进行散热时，通过将至少两个保温片套设在桶体的外侧，可实现对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏及避免工艺气相沉积因温度产生晶圆不良率，进而提高了晶圆片的质量，及晶圆片表面长膜均匀性。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的石英保温桶还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，保温片为八个，且八个保温片套设在桶体的底部。

在该技术方案中，通过将保温片设置为八个，并将八个保温片套设在桶体的底部，进一步实现减缓桶体内的温度变化，以对石英保温桶进行保温，从而防止因温度的变化过快，而致使晶圆片发生损坏，进而提高了晶圆片的质量，延长了晶圆片的使用年限。

在上述技术方案中，优选地，石英保温桶包括：固定孔和连接件；至少两个固定孔穿过底板；连接件穿过固定孔与固定面连接。

在该技术方案中，通过将至少两个固定孔穿过底板，并使连接件穿过固定孔后与固定面相连接，以实现将石英保温桶固定在固定面上，从而提高石英保温桶的稳定性，避免石英保温桶发生倾倒，进而提高了石英保温桶使用的安全性，提升用户的体验。

在上述技术方案中，优选地，固定孔为四个，且四个固定孔均匀设置在底板上。

在该技术方案中，通过将固定孔设置为四个，并将四个固定孔均匀设置在底板上，以实现底板的受力更加均匀，从而使石英保温桶保持平衡状态，以避免石英保温桶发生倾倒，进而提高石英保温桶的稳定性，并提高了石英保温桶使用的安全性，提升用户的体验。