[实用新型]石英保温桶

权利要求书

1.一种石英保温桶，所述石英保温桶竖直放置在固定面上，所述石英保温桶对晶圆片保温，其特征在于，所述石英保温桶包括：

桶体，所述桶体为两端具有开口的中空腔体，且所述晶圆片嵌于所述桶体内；

底板，所述底板盖合在所述桶体的底端开口处，且将所述桶体的底端开口闭合；

端盖，所述端盖上设置有通孔，所述端盖盖合在所述桶体的顶端开口处，且所述通孔与所述桶体相通；

保温片，至少两个所述保温片套设在所述桶体的外侧。

2.根据权利要求1所述的石英保温桶，其特征在于：

所述保温片为八个，且八个所述保温片套设在所述桶体的底部。

3.根据权利要求1所述的石英保温桶，其特征在于，所述石英保温桶包括：

固定孔，至少两个所述固定孔穿过所述底板；

连接件，所述连接件穿过所述固定孔与所述固定面连接。

4.根据权利要求3所述的石英保温桶，其特征在于：

所述固定孔为四个，且四个所述固定孔均匀设置在所述底板上。

5.根据权利要求1所述的石英保温桶，其特征在于，所述石英保温桶包括：

第一连接板，所述第一连接板卡接在所述端盖上；

固定轴，至少两个所述固定轴的一端与所述第一连接板相连接，所述固定轴上设置有至少两个固定槽，且所述晶圆片嵌于所述固定槽中；

第二连接板，所述第二连接板与至少两个所述固定轴的另一端相连接。

6.根据权利要求5所述的石英保温桶，其特征在于，所述固定槽包括：

本体，所述本体为矩形槽；

引导部，所述引导部与所述本体相连接，且所述引导部截面的两侧边的距离由所述本体向背离所述本体方向逐渐增大。

7.根据权利要求6所述的石英保温桶，其特征在于：

所述引导部截面的两侧边呈预定角度。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的石英保温桶，其特征在于：

所述石英保温桶为石英体。