[实用新型]一种脆性材料轮廓仪测量工装有效

专利信息
申请号: 201821657995.9 申请日: 2018-10-12
公开(公告)号: CN209342007U 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 王乃奎;袁林锋 申请(专利权)人: 北京亦盛精密半导体有限公司
主分类号: G01B5/20 分类号: G01B5/20
代理公司: 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 代理人: 陈靳秋
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种脆性材料轮廓仪测量工装,包括支撑结构,支撑结构上支撑有斜坡板,斜坡板上设有数个定位键槽,还包括与定位键槽配合使用的键销,键销的数量至少两个。综上所述,本实用新型的测量工装针对单晶硅、石英、陶瓷等材料制成的具有脆性且厚度较小(几个毫米)的零件,其外形特征有槽、台阶、螺纹孔、沉头孔等被测要素部位,依照现有的测量方法,水平放置于测量台面上,无法取得被测要素,该测量工装将零件固定在一个倾斜的斜坡板上,倾斜的零件便于轮廓仪提取被测要素部位。
搜索关键词: 测量工装 轮廓仪 斜坡板 本实用新型 脆性材料 定位键槽 支撑结构 键销 脆性 单晶硅 零件固定 外形特征 测量台 沉头孔 螺纹孔 上支撑 石英 测量 陶瓷
【主权项】:
1.一种脆性材料轮廓仪测量工装,其特征在于,包括支撑结构,所述支撑结构上支撑有斜坡板,所述支撑结构包括两块平行间隔设置的直角三角形板,所述斜坡板为矩形板,所述直角三角形板的斜边分别连接斜坡板的两个相对的侧边,所述斜坡板上设有数个定位键槽,还包括与定位键槽配合使用的键销,所述键销的数量至少两个。
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