[实用新型]一种脆性材料轮廓仪测量工装有效
| 申请号： | 201821657995.9 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN209342007U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王乃奎;袁林锋 | 申请（专利权）人： | 北京亦盛精密半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20 |
| 代理公司： | 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 | 代理人： | 陈靳秋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量工装 轮廓仪 斜坡板 本实用新型 脆性材料 定位键槽 支撑结构 键销 脆性 单晶硅 零件固定 外形特征 测量台 沉头孔 螺纹孔 上支撑 石英 测量 陶瓷 | ||
【权利要求书】：
1.一种脆性材料轮廓仪测量工装，其特征在于，包括支撑结构，所述支撑结构上支撑有斜坡板，所述支撑结构包括两块平行间隔设置的直角三角形板，所述斜坡板为矩形板，所述直角三角形板的斜边分别连接斜坡板的两个相对的侧边，所述斜坡板上设有数个定位键槽，还包括与定位键槽配合使用的键销，所述键销的数量至少两个。
2.根据权利要求1所述的一种脆性材料轮廓仪测量工装，其特征在于，数个所述定位键槽分成两组，两组所述定位键槽分别左右对称设于斜坡板中轴线两侧。
3.根据权利要求1所述的一种脆性材料轮廓仪测量工装，其特征在于，所述直角三角板上设有镂空通孔。
4.根据权利要求1所述的一种脆性材料轮廓仪测量工装，其特征在于，所述斜坡板与水平面的夹角为45°。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种脆性材料轮廓仪测量工装，其特征在于，所述斜坡板为PP材质。
6.根据权利要求1-4任一项所述的一种脆性材料轮廓仪测量工装，其特征在于，所述直角三角板为PP材质。
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