[实用新型]一种脆性材料轮廓仪测量工装有效
| 申请号: | 201821657995.9 | 申请日: | 2018-10-12 |
| 公开(公告)号: | CN209342007U | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
| 发明(设计)人: | 王乃奎;袁林锋 | 申请(专利权)人: | 北京亦盛精密半导体有限公司 |
| 主分类号: | G01B5/20 | 分类号: | G01B5/20 |
| 代理公司: | 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 | 代理人: | 陈靳秋 |
| 地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 测量工装 轮廓仪 斜坡板 本实用新型 脆性材料 定位键槽 支撑结构 键销 脆性 单晶硅 零件固定 外形特征 测量台 沉头孔 螺纹孔 上支撑 石英 测量 陶瓷 | ||
本实用新型公开了一种脆性材料轮廓仪测量工装,包括支撑结构,支撑结构上支撑有斜坡板,斜坡板上设有数个定位键槽,还包括与定位键槽配合使用的键销,键销的数量至少两个。综上所述,本实用新型的测量工装针对单晶硅、石英、陶瓷等材料制成的具有脆性且厚度较小(几个毫米)的零件,其外形特征有槽、台阶、螺纹孔、沉头孔等被测要素部位,依照现有的测量方法,水平放置于测量台面上,无法取得被测要素,该测量工装将零件固定在一个倾斜的斜坡板上,倾斜的零件便于轮廓仪提取被测要素部位。
技术领域
本实用新型属于测量工装技术领域,具体涉及一种脆性材料轮廓仪测量工装。
背景技术
现有对硅、石英、陶瓷等脆性材料制成的具有脆性且厚度较小的零件的测量方法,该类产品所需被测特征,包括内外径倒角、槽、台阶、螺纹孔等被测要素,当被测要素属于零件边缘(如内外径倒角)时,由于零件厚度较小,轮廓仪接触式探针在测量过程中,会移动到零件外部后落下,致使探针产生颤动甚至可能使其直接接触于工作台面上而造成探针的毁坏,两种情况均会导致测量图像显示异常波动,最终对测量结果造成较大误差,影响数据的准确性。当被测要素属于特征要素(如槽、台阶、螺纹孔、沉头孔)时,将被测零件直接置于水平测量台面上(大理石),则无法取得被测要素的特征,即无法得到想要的数据信息。
名词解释:
外形轮廓仪:对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器。通过传感器一端的触针,使其尖端表面与被测表面接触,当传感器以匀速水平移动时,被测表面的峰谷使探针产生上下位移,使敏感元件的电感发生变化,从而引起交流载波波形发生变化。
脆性材料:该种材料在外力作用下(如拉伸、冲击等)仅产生很小的变形即破坏断裂的性质。聚合物脆性与聚合物结构及使用条件(温度、外力作用速率等)有关,柔性链高分子聚合物脆性小,韧性好;刚性链高分子则相反。
针对上述问题,提出本实用新型。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种脆性材料轮廓仪测量工装。
为实现上述实用新型目的,本实用新型的技术方案是:一种脆性材料轮廓仪测量工装,包括支撑结构,支撑结构上支撑有斜坡板,斜坡板上设有数个定位键槽,还包括与定位键槽配合使用的键销,键销的数量至少两个。
进一步的,支撑结构包括两块平行间隔设置的直角三角形板,所述斜坡板为矩形板,所述直角三角形板的斜边分别连接斜坡板的两个相对的侧边。
进一步的,定位键槽分成两组,两组定位键槽分别左右对称设于斜坡板中轴线两侧。
进一步的,直角三角板上设有镂空通孔。
进一步的,斜坡板与水平面的夹角为45°。
进一步的,斜坡板为PP材质。
进一步的,直角三角板为PP材质。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型的轮廓仪测量工装,针对单晶硅、石英、陶瓷等材料制成的具有脆性且厚度较小(几个毫米)的零件,其外形特征有槽、台阶、螺纹孔、沉头孔等被测要素部位,依照现有的测量方法,水平放置于测量台面上,无法取得被测要素,该测量工装将零件固定在一个倾斜的斜坡板上,倾斜的零件便于轮廓仪提取被测要素部位。
附图说明
当结合附图考虑时,通过参照下面的详细描述,能够更完整更好地理解本实用新型以及容易得知其中许多伴随的优点,但此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本实用新型的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定,其中:
图1是本实用新型的一种脆性材料轮廓仪测量工装的结构示意图;
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