[实用新型]一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置

摘要

本实用新型公开了一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，涉及晶圆加工技术领域，包括工作台，工作台的顶部一端固定连接有第一架板，第一架板的一侧固定连接有第一气缸，第一气缸的一端固定连接有液压杆，工作台的顶部另一端固定连接有第二架板，第二架板的一侧固定连接有电机，转轴的一端固定连接有第二固定块，工作台的顶部两侧均固定连接有支撑板，支撑板的一侧固定连接有第二气缸，第二气缸的一端固定连接有伸缩杆，伸缩杆的一端固定连接有校位块。该激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，液压杆能够使吸口移动，对晶圆进行固定或松开，使吸口对晶圆固定，伸缩杆能够使校位块移动，使校位槽对晶圆进行校位。

主权项

1.一种激光切割晶圆加工中可自动旋转校位的装置，其特征在于，包括：工作台（1），所述工作台（1）的顶部一端固定连接有第一架板（2），所述第一架板（2）的一侧固定连接有第一气缸（3），所述第一气缸（3）的一端固定连接有液压杆（4），所述液压杆（4）的一端固定连接有吸管（6），所述吸管（6）的一端活动连接有活动套（7）；所述吸管（6）的一端内部开设有滑槽（8），所述吸管（6）的一端外侧开设有环形凹槽（9），所述环形凹槽（9）的内部固定连接有密封圈（10），所述活动套（7）的一端内壁两侧均固定连接有支撑杆（11），所述支撑杆（11）的一端固定连接有滑块（12），所述活动套（7）的另一端开设有螺纹槽（13），所述活动套（7）的一端固定连接有挡板（14），所述挡板（14）的一侧固定连接有螺纹套（15），所述挡板（14）的另一侧固定连接有吸口（16）；所述工作台（1）的顶部另一端固定连接有第二架板（17），所述第二架板（17）的一侧固定连接有电机（18），所述电机（18）的一端固定连接有转轴（19），所述转轴（19）的一端固定连接有第二固定块（20），所述第二固定块（20）的一侧固定连接有顶块（21），所述工作台（1）的顶部固定连接有吸泵（22），所述吸泵（22）位于第一架板（2）的另一侧；所述工作台（1）的顶部两侧均固定连接有支撑板（23），所述支撑板（23）的一侧固定连接有第二气缸（24），所述第二气缸（24）的一端固定连接有伸缩杆（25），所述伸缩杆（25）的一端固定连接有校位块（26），所述校位块（26）的中部开设有校位槽（27）。