[实用新型]一种基于压电测量的晶体清洁装置有效

专利信息
申请号: 201821635777.5 申请日: 2018-10-09
公开(公告)号: CN209272043U 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 李星辉;吴豪;王晓浩;周倩;倪凯 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B03C3/04;B03C3/80
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 谢岳鹏
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及大气颗粒物检测领域,公开了一种基于压电测量的晶体清洁装置,晶体清洁装置包括用于引导气流向晶体的表面进行吹扫的流道;第一电极,以及可与晶体导电连接的第二电极;第一电极与第二电极之间可形成方向可变的电场。本实用新型可以在不拆除晶体的基础上,对晶体表面的颗粒物进行清除,操作简单,可以极大的节省人工成本,有助于压电晶体测量法的推广和应用。
搜索关键词: 清洁装置 本实用新型 第二电极 第一电极 压电测量 晶体的 大气颗粒物 电场 导电连接 方向可变 检测领域 晶体表面 人工成本 压电晶体 测量法 颗粒物 吹扫 流道 拆除 应用
【主权项】:
1.一种基于压电测量的晶体清洁装置,其特征在于,包括用于引导气流向所述晶体的表面进行吹扫的流道;第一电极,以及可与所述晶体导电连接的第二电极;所述第一电极与所述第二电极之间可形成方向可变的电场。
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