[实用新型]一种基于压电测量的晶体清洁装置有效

专利信息
申请号: 201821635777.5 申请日: 2018-10-09
公开(公告)号: CN209272043U 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 李星辉;吴豪;王晓浩;周倩;倪凯 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B03C3/04;B03C3/80
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 谢岳鹏
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 清洁装置 本实用新型 第二电极 第一电极 压电测量 晶体的 大气颗粒物 电场 导电连接 方向可变 检测领域 晶体表面 人工成本 压电晶体 测量法 颗粒物 吹扫 流道 拆除 应用
【说明书】:

实用新型涉及大气颗粒物检测领域,公开了一种基于压电测量的晶体清洁装置,晶体清洁装置包括用于引导气流向晶体的表面进行吹扫的流道;第一电极,以及可与晶体导电连接的第二电极;第一电极与第二电极之间可形成方向可变的电场。本实用新型可以在不拆除晶体的基础上,对晶体表面的颗粒物进行清除,操作简单,可以极大的节省人工成本,有助于压电晶体测量法的推广和应用。

技术领域

本实用新型涉及大气颗粒物检测领域,尤其是涉及一种对晶体进行清洁的清洁装置。

背景技术

压电晶体测量法中,常配合静电沉降方法将颗粒物收集到压电晶体表面,很常用的是点面式电极,在针尖端与平坦沉降基底之间加载上千伏的高压,针尖端作为放电极,沉降基底作为集尘极,假设放电极接电源负极,集尘极接电源正极,两极之间形成非均匀电场,在电场作用下,空气中的自由离子要向两极移动,电压愈高、电场强度愈高,离子的运动速度愈快。放电极附近的离子获得了较高的能量和速度,它们撞击空气中的中性原子时,中性原子会分解成正、负离子,这种现象称为空气电离。空气电离后,由于连锁反应,在极间运动的离子数大大增加,表现为极间的电流(称之为电晕电流)急剧增加,空气成了导体。放电极周围的空气全部电离后,在放电极周围可以看见一圈淡蓝色的光环,这个光环称为电晕。因此,这个放电极被称为电晕极。

电晕范围(也称电晕区)通常局限于电晕线周围几毫米处,电晕区以外的空间称之为电晕外区。电晕区内的空气电离后,正离子很快向负(电晕)极移动,只有负离子才会进入电晕外区,向阳极移动。含颗粒物的空气通过时,由于电晕区的范围很小,只有少量的尘粒在电晕区通过,获得正电荷,沉积在电晕极上。大多数尘粒在电晕外区通过,获得负电荷,最后沉积在阳极板上,这就是阳极板称为集尘极的原因。

晶体吸附颗粒物后便可以检测颗粒物的质量,由于压电晶体传感器的线性敏感区间在微克级别,应用在大气颗粒物的测量过程中,重复几次测量实验后便需要取出晶片,手动清洁表面附着颗粒物以避免超过量程造成结果不准确。现有技术中,一般清洁的步骤为先用去离子水清洗,再用氮气烘干,操作复杂,极大地增加了人工成本,限制了压电晶体测量法在实际中的推广和应用。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种基于压电测量的晶体清洁装置,用于解决现有技术中操作复杂、人工成本高的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:

一种基于压电测量的晶体清洁装置,包括

用于引导气流向晶体的表面进行吹扫的流道;

第一电极,以及可与晶体导电连接的第二电极;

第一电极与第二电极之间可形成方向可变的电场。

作为上述方案的进一步改进方式,还包括壳体,壳体的内部设有流道,流道在壳体上分别形成样品入口与出口。

作为上述方案的进一步改进方式,还包括用于承载晶体的承载装置,承载装置位于壳体内部,并可相对壳体运动,以使晶体的待清洁表面处于与气流的吹扫方向相倾斜的清洁位置。

作为上述方案的进一步改进方式,壳体的侧壁上设置有圆弧形的导向槽,以及设于导向槽的圆心部位的转轴孔,承载装置上设有转轴与第二电极,转轴插接至转轴孔内,第二电极插接在导向槽内,并可沿导向槽滑动。

作为上述方案的进一步改进方式,还包括密封滑片,密封滑片与承载装置同步运动,且当承载装置运动至晶体待清洁表面与气流的吹扫方向相平行的沉降位置时,密封滑片完全封闭导向槽。

作为上述方案的进一步改进方式,承载装置上设有用于放置晶体的凹槽,凹槽的底部对应晶体上的电极区域设有通孔,第二电极可与晶体抵持接触,以将晶体固定在凹槽内。

作为上述方案的进一步改进方式,还包括传感器,承载装置运动至清洁位置时触发传感器,以改变第一电极与第二电极的电场方向。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学深圳研究生院,未经清华大学深圳研究生院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821635777.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top