[实用新型]一种硅片涂胶装置有效
| 申请号： | 201821624903.7 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN209423964U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张淑云 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C9/10;B05C11/10;B05C13/02;B05C15/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300000 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片涂胶装置，包括废胶托板及废胶托盘上的真空吸片托盘，废胶托盘及真空吸片托盘设置在保护罩内；在保护罩的侧壁上还分别设置有第一机械臂和第二机械臂；第一机械臂上设置有注胶管，注胶管伸入至真空吸片托盘上；第二机械臂上设置有增粘剂管和氮气吹扫管，增粘剂管端部设置有增粘剂喷嘴，氮气吹扫管穿过保护罩侧壁与氮气瓶连接。本实用新型所述的装置在甩胶前进行氮气吹扫，吹掉硅片表面的灰尘，防止光刻后形成针孔，通过注胶管及第一机械臂的配合实现注胶位置的定位，进一步的通过控制阀门实现注胶量恒定控制，对于返工片，可喷入增粘剂以保证返工硅片和胶水之间的粘附性，保证光刻质量。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 机械臂 增粘剂 氮气吹扫 真空吸片 注胶管 废胶 本实用新型 涂胶装置 保护罩 硅片 光刻 针孔 保护罩侧壁 返工硅片 硅片表面 恒定控制 控制阀门 注胶位置 胶水 喷嘴 氮气瓶 管端部 粘附性 注胶量 侧壁 返工 喷入 伸入 甩胶 托板 保证 穿过 配合 | ||
【主权项】：
1.一种硅片涂胶装置，包括废胶托板及废胶托盘上的真空吸片托盘，其特征在于：废胶托盘及真空吸片托盘设置在保护罩内；在保护罩的侧壁上还分别设置有第一机械臂和第二机械臂；第一机械臂上设置有注胶管，注胶管伸入至真空吸片托盘上；第二机械臂上设置有增粘剂管和氮气吹扫管，增粘剂管端部设置有增粘剂喷嘴，氮气吹扫管穿过保护罩侧壁与氮气瓶连接。
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