[实用新型]一种硅片涂胶装置

说明书

本实用新型提供了一种硅片涂胶装置，包括废胶托板及废胶托盘上的真空吸片托盘，废胶托盘及真空吸片托盘设置在保护罩内；在保护罩的侧壁上还分别设置有第一机械臂和第二机械臂；第一机械臂上设置有注胶管，注胶管伸入至真空吸片托盘上；第二机械臂上设置有增粘剂管和氮气吹扫管，增粘剂管端部设置有增粘剂喷嘴，氮气吹扫管穿过保护罩侧壁与氮气瓶连接。本实用新型所述的装置在甩胶前进行氮气吹扫，吹掉硅片表面的灰尘，防止光刻后形成针孔，通过注胶管及第一机械臂的配合实现注胶位置的定位，进一步的通过控制阀门实现注胶量恒定控制，对于返工片，可喷入增粘剂以保证返工硅片和胶水之间的粘附性，保证光刻质量。

技术领域

本实用新型属于硅片制造技术领域，尤其是涉及一种硅片涂胶装置。

背景技术

现有的硅片涂胶机采用手动滴胶，对工人的经验和能力都有较高的要求，在涂胶过程中还存在如下问题，涂胶前需要对真空吸片托盘进行人工清洁，否则难以保证硅片涂胶环境的清洁；除了手动滴胶，还需要手动注入增粘剂，对工人要求更高，且工作强度也更大，很容易出现滴胶胶量不均匀，增粘剂注入量不均匀等问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅片涂胶装置，以解决现有涂胶机结构简单、功能单一的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种硅片涂胶装置，包括废胶托板及废胶托盘上的真空吸片托盘，废胶托盘及真空吸片托盘设置在保护罩内；

在保护罩的侧壁上还分别设置有第一机械臂和第二机械臂；

第一机械臂上设置有注胶管，注胶管伸入至真空吸片托盘上；

第二机械臂上设置有增粘剂管和氮气吹扫管，增粘剂管端部设置有增粘剂喷嘴，氮气吹扫管穿过保护罩侧壁与氮气瓶连接。

进一步的，所述第一机械臂为伸缩杆，第二机械臂为伸缩杆或摆臂。

进一步的，所述第一机械臂与第一驱动电机连接，第二机械臂与第二驱动电机连接。

进一步的，所述注胶管的管路上设置有控制阀门。

进一步的，所述废胶托板底部设置有转轴，转轴穿过保护罩底部与第三驱动电机连接。

进一步的，所述真空吸片托盘通过支撑悬架固定在废胶托盘上。

进一步的，所述废胶托板底部设置有中空孔，真空吸片托盘通过支撑悬架穿过盖中空孔与转轴连接，转槽穿过保护罩底部与第三驱动电机连接。

进一步的，所述氮气吹扫管端部设置有吹扫喷嘴。

进一步的，所述吹扫喷嘴为条状喷管，条状喷管长度与真空吸片托板半径相同，条状喷管底部均匀设置有多个喷射口。

相对于现有技术，本实用新型所述的硅片涂胶装置具有以下优势：涂胶装置增加了保护罩，避免硅片放到真空吸片托盘上后，环境中的灰尘落到硅片表面形成污染，在甩胶前进行氮气吹扫，吹掉硅片表面的灰尘，防止光刻后形成针孔，通过注胶管及第一机械臂的配合实现注胶位置的定位，进一步的通过控制阀门实现注胶量恒定控制，对于返工片，可喷入增粘剂以保证返工硅片和胶水之间的粘附性，保证光刻质量，通过增粘剂管及第二机械臂的配合可实现增粘剂导入量的均匀恒定。装置整体结构简单、控制准确快捷，设备成本低。

附图说明

构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的硅片涂胶装置的结构示意图；

附图标记说明：