[实用新型]一种硅片涂胶装置有效
| 申请号： | 201821624903.7 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN209423964U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张淑云 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C9/10;B05C11/10;B05C13/02;B05C15/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300000 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 托盘 机械臂 增粘剂 氮气吹扫 真空吸片 注胶管 废胶 本实用新型 涂胶装置 保护罩 硅片 光刻 针孔 保护罩侧壁 返工硅片 硅片表面 恒定控制 控制阀门 注胶位置 胶水 喷嘴 氮气瓶 管端部 粘附性 注胶量 侧壁 返工 喷入 伸入 甩胶 托板 保证 穿过 配合 | ||
1.一种硅片涂胶装置，包括废胶托板及废胶托盘上的真空吸片托盘，其特征在于：废胶托盘及真空吸片托盘设置在保护罩内；
在保护罩的侧壁上还分别设置有第一机械臂和第二机械臂；
第一机械臂上设置有注胶管，注胶管伸入至真空吸片托盘上；
第二机械臂上设置有增粘剂管和氮气吹扫管，增粘剂管端部设置有增粘剂喷嘴，氮气吹扫管穿过保护罩侧壁与氮气瓶连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：第一机械臂为伸缩杆，第二机械臂为伸缩杆或摆臂。
3.根据权利要求2所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：第一机械臂与第一驱动电机连接，第二机械臂与第二驱动电机连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：注胶管的管路上设置有控制阀门。
5.根据权利要求1所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：废胶托板底部设置有转轴，转轴穿过保护罩底部与第三驱动电机连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：真空吸片托盘通过支撑悬架固定在废胶托盘上。
7.根据权利要求1所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：废胶托板底部设置有中空孔，真空吸片托盘通过支撑悬架穿过盖中空孔与转轴连接，转槽穿过保护罩底部与第三驱动电机连接。
8.根据权利要求1所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：氮气吹扫管端部设置有吹扫喷嘴。
9.根据权利要求8所述的一种硅片涂胶装置，其特征在于：吹扫喷嘴为条状喷管，条状喷管长度与真空吸片托板半径相同，条状喷管底部均匀设置有多个喷射口。
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