[实用新型]一种用于离子注入机的校对装置

摘要

本实用新型公开了一种用于离子注入机的校对装置，包括机壳和2XZ‑1型真空泵，机壳顶部一侧对应冲压的两个凹槽内部对应安装有两组离子源系统，机壳内侧在两组离子源系统正下方安装有放电室，机壳内侧在引出缝的正下方水平安装有抑制电极，本实用新型，利用校对机构内的Y80M1‑2型驱动电机驱动丝杆转动，由丝杆的转动驱动丝杆螺母移动，丝杆螺母的移动调整校对靶的位置，便于获得校对离子束移动轨迹，控制离子束的注入位置，提高离子注入质量；利用净化机构内部的MQ23120H型电磁铁工作吸附离子束内部的金属离子，提高离子注入的质量；利用校对靶表面刻画的多个分区，便于准确的获得离子束的移动轨迹，便于校对离子注入位置。

主权项

1.一种用于离子注入机的校对装置，包括机壳(1)和2XZ‑1型真空泵(12)，其特征在于：所述机壳(1)顶部一侧对应冲压的两个凹槽内部对应安装有两组离子源系统(2)，所述机壳(1)内侧在两组离子源系统(2)正下方安装有放电室(3)，所述机壳(1)内侧在放电室(3)的正下方开设为引出缝(4)，所述机壳(1)内侧在引出缝(4)的正下方水平安装有抑制电极(5)，所述机壳(1)内侧在抑制电极(5)的正下方水平安装有地电极(6)，所述机壳(1)内侧在地电极(6)的正下方布设为真空室(7)，所述机壳(1)内侧在真空室(7)的正下方嵌合安装有阀门(10)，所述机壳(1)内侧在阀门(10)的正下方设置为靶室(11)，所述靶室(11)底部远离阀门(10)的一侧安装有2XZ‑1型真空泵(12)，所述靶室(11)内部相对应于阀门(10)的位置水平安装有校对机构(9)，所述机壳(1)在真空室(7)外侧的两侧对应安装有两组净化机构(8)，所述校对机构(9)包括校对靶(91)、丝杆(92)、丝杆螺母(93)、ZSY500减速器(94)和Y80M1‑2型驱动电机(95)，所述校对靶(91)竖直焊接固定在丝杆螺母(93)的顶部，所述丝杆螺母(93)螺纹连接丝杆(92)，所述丝杆(92)的一端连接ZSY500减速器(94)的输出轴，所述ZSY500减速器(94)的输入轴连接Y80M1‑2型驱动电机(95)的输出轴。