[实用新型]一种用于离子注入机的校对装置

权利要求书

1.一种用于离子注入机的校对装置，包括机壳(1)和2XZ-1型真空泵(12)，其特征在于：所述机壳(1)顶部一侧对应冲压的两个凹槽内部对应安装有两组离子源系统(2)，所述机壳(1)内侧在两组离子源系统(2)正下方安装有放电室(3)，所述机壳(1)内侧在放电室(3)的正下方开设为引出缝(4)，所述机壳(1)内侧在引出缝(4)的正下方水平安装有抑制电极(5)，所述机壳(1)内侧在抑制电极(5)的正下方水平安装有地电极(6)，所述机壳(1)内侧在地电极(6)的正下方布设为真空室(7)，所述机壳(1)内侧在真空室(7)的正下方嵌合安装有阀门(10)，所述机壳(1)内侧在阀门(10)的正下方设置为靶室(11)，所述靶室(11)底部远离阀门(10)的一侧安装有2XZ-1型真空泵(12)，所述靶室(11)内部相对应于阀门(10)的位置水平安装有校对机构(9)，所述机壳(1)在真空室(7)外侧的两侧对应安装有两组净化机构(8)，所述校对机构(9)包括校对靶(91)、丝杆(92)、丝杆螺母(93)、ZSY500减速器(94)和Y80M1-2型驱动电机(95)，所述校对靶(91)竖直焊接固定在丝杆螺母(93)的顶部，所述丝杆螺母(93)螺纹连接丝杆(92)，所述丝杆(92)的一端连接ZSY500减速器(94)的输出轴，所述ZSY500减速器(94)的输入轴连接Y80M1-2型驱动电机(95)的输出轴。

2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的校对装置，其特征在于：所述校对机构(9)还包括机架(96)、SH180*1480型液压缸(97)、滑座(98)、滑轨(99)和底板(910)，所述机架(96)的内侧对应安装有ZSY500减速器(94)和Y80M1-2型驱动电机(95)，所述机架(96)顶部的中心位置连接SH180*1480型液压缸(97)的活塞杆末端，所述SH180*1480型液压缸(97)竖直安装在靶室(11)的外侧，所述滑座(98)的一侧转动连接丝杆(92)的另一端，所述滑座(98)滑动安装在滑轨(99)的一侧，所述滑轨(99)的顶端螺栓连接靶室(11)外侧的底部，所述底板(910)水平焊接在丝杆螺母(93)顶部的外侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的校对装置，其特征在于：所述靶室(11)的底部对应于校对靶(91)的位置开设有条形孔(13)，所述校对靶(91)穿过条形孔(13)，所述条形孔(13)的长度等于底板(910)长度的四分之一。

4.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的校对装置，其特征在于：所述净化机构(8)包括保护壳(81)、MQ23120H型电磁铁(82)和陶瓷板(83)，所述MQ23120H型电磁铁(82)水平安装在保护壳(81)的内部，所述陶瓷板(83)竖直安装在保护壳(81)的一侧。

5.根据权利要求4所述的一种用于离子注入机的校对装置，其特征在于：所述MQ23120H型电磁铁(82)的铁芯一端与陶瓷板(83)的一侧相接触，所述保护壳(81)一端开口而另一单密封且陶瓷板(83)嵌合在开口内侧，所述陶瓷板(83)的另一侧与机壳(1)外表面相接触。

6.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的校对装置，其特征在于：所述2XZ-1型真空泵(12)连通靶室(11)内部，所述靶室(11)内部相对应于阀门(10)的位置焊接有靶片底座。

7.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的校对装置，其特征在于：所述机壳(1)顶部相对应两组离子源系统(2)的位置对应安装有两组天线，所述机壳(1)呈L状。