[实用新型]一种筒状多晶硅铸锭石墨热场

摘要

本实用新型一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，包括炉体、反射圈、加热器和密封板，所述炉体的顶端设置有上封盖，所述炉体内部底端的中间位置处固定安装有坩埚轴，所述单层保温罩的外壁均匀设置有散热口，所述单层保温罩的内侧设置有加热器，所述加热器正面的两侧皆设置有电极块，所述坩埚轴的顶端设置有石墨托碗，所述石墨托碗的内部设置有石英坩埚，所述散热口的内部设置有密封板，且散热口与密封板之间设置有收纳管，且收纳管的内部安装有连接架和热膨胀块。本实用新型通过采用进口等静压石墨做加热器，含碳量高于99.9％，加热效果优良，加热效果好，通过设置多层次保温结构，加强保温效果，通过自动进行降温，形成温差，加快铸锭速度。

主权项

1.一种筒状多晶硅铸锭石墨热场，包括炉体(1)、反射圈(6)、加热器(11)和密封板(15)，其特征在于：所述炉体(1)的顶端设置有上封盖(2)，所述炉体(1)外壁的顶端均匀设置有散热通孔(3)，所述炉体(1)内部的底端设置有炉底护盘(4)，所述炉体(1)内部底端的中间位置处固定安装有坩埚轴(5)，所述炉底护盘(4)上的炉体(1)内部固定安装有反射圈(6)，所述反射圈(6)内部的底端设置有反射底盖(7)，所述反射圈(6)顶端设置有双层保温罩(8)，且双层保温罩(8)的顶端设置有单层保温罩(9)，所述单层保温罩(9)的外壁均匀设置有散热口(10)，所述单层保温罩(9)的内侧设置有加热器(11)，所述加热器(11)正面的两侧皆设置有电极块(12)，所述坩埚轴(5)的顶端设置有石墨托碗(13)，所述石墨托碗(13)的内部设置有石英坩埚(14)，所述散热口(10)的内部设置有密封板(15)，且密封板(15)与散热口(10)之间设置有收纳管(17)，且收纳管(17)的内部安装有连接架(18)和热膨胀块(19)。